[发明专利]具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法在审
申请号: | 201710909096.7 | 申请日: | 2017-09-29 |
公开(公告)号: | CN107793041A | 公开(公告)日: | 2018-03-13 |
发明(设计)人: | 周光惠;夏永光;彭军 | 申请(专利权)人: | 广东星弛光电科技有限公司 |
主分类号: | C03C17/34 | 分类号: | C03C17/34 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司44215 | 代理人: | 刘克宽 |
地址: | 523330 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 耐磨 氧化铝 镀膜 钢化玻璃 制备 方法 | ||
1.具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法,其特征在于:包括以下步骤:
a)将钢化玻璃衬底依次采用有机溶剂、去离子水清洗,然后烘干;
b)利用MOCVD技术,以纯度为99.995%以上的二茂镁为镁源,高纯氧或者去离子水为氧源,在一定反应温度下,在钢化玻璃衬底上生长具有多晶结构的氧化镁薄膜层;
c)利用ALD技术,以纯度为99.995%以上的三甲基铝为铝源,以氮气或氩气为载气,在一定反应温度下,在所述氧化镁薄膜层上外延生长形成氧化铝薄膜层;
d)在所述氧化铝薄膜层的表面均匀涂覆二氧化钛溶胶,然后固化后形成低折射率的二氧化钛增透光镀膜层。
2.根据权利要求1所述的具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法,其特征在于:步骤b中,反应温度为300~400℃,所述氧化镁薄膜层的厚度为10~20nm。
3.根据权利要求1所述的具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法,其特征在于:步骤b中,反应温度为250~350℃,所述氧化铝薄膜层的厚度为60~150nm。
4.根据权利要求1所述的具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法,其特征在于:步骤b中,步骤d中,所述二氧化钛增透光镀膜层的厚度为100~150nm。
5.根据权利要求1所述的具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法,其特征在于:步骤d中,所述固化的温度为300~350℃。
6.根据权利要求1所述的具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法,其特征在于:步骤d中,所述二氧化钛增透光镀膜层的折光率为1.35~1.55。
7.根据权利要求1所述的具有耐磨氧化铝镀膜层的钢化玻璃的制备方法,其特征在于:步骤a中,所述有机溶剂为乙醇、异丙醇、乙二醇、乙二醇双乙醚、丁二醇单乙醚和丙酮中的至少一种。
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