[发明专利]有机发光显示面板的制备方法及有机发光显示面板

说明书

技术领域

本公开涉及显示器件制造领域，更具体地涉及有机发光显示面板的制备方法和相应的有机发光显示面板。

背景技术

有机发光显示面板是采用有机发光二极管(OLED)的显示设备。在OLED中，作为主要功能层的电致发光(Electroluminescent或简称为EL)层是响应于电流而发光的一层有机化合物薄膜。该层有机化合物薄膜位于两个电极(阴极和阳极)层之间，并在两个电极的作用下发光。由于两个电极中的至少一个电极通常是透明的，因此电致发光层所发出的光可以穿过透明的电极以及其它各透明层，并最终到达用户的眼睛，使用户观察到图像。

然而，在制备有机发光显示面板时，由于其具有多层精细结构，因此各层之间需要非常精确地对位。否则，可能会使用于不同颜色像素的不同有机发光材料之间产生混色，从而导致所生产的OLED面板的良率降低。

发明内容

为了至少部分解决或减轻上述对位不准的问题，提供了根据本公开实施例的有机发光显示面板的制备方法以及相应的有机发光显示面板。

根据本公开的第一方面，提供了一种有机发光显示面板的制备方法。该方法包括：在基板上形成与待形成的发光层图案互补的牺牲层图案；在形成有所述牺牲层图案的基板上形成发光材料；以及去除所述牺牲层图案及其上的发光材料，以形成所述发光层图案。

在一些实施例中，在基板上形成与待形成的发光层图案互补的牺牲层图案的步骤包括：以溅射方式在所述基板上形成所述牺牲层图案。在一些实施例中，在基板上形成与待形成的发光层图案互补的牺牲层图案的步骤包括：在所述基板上形成厚度高于待形成的发光层图案的牺牲层图案。在一些实施例中，所述牺牲层的图案的高度是所述发光层图案的高度的两倍。在一些实施例中，所述牺牲层图案是由金属元素构成的图案。在一些实施例中，所述金属元素为以下各项之一：铬、钨、金。在一些实施例中，去除所述牺牲层图案及其上的发光材料的步骤包括：使用干法刻蚀来去除所述牺牲层图案及其上的发光材料。在一些实施例中，使用干法刻蚀来去除所述牺牲层图案及其上的发光材料的步骤包括：使用化学性干法刻蚀来去除所述牺牲层图案；以及将刻蚀后形成的气态副产品连同所述牺牲层图案上的发光材料一起排出反应室。在一些实施例中，所述干法刻蚀所采用的刻蚀气是以下各项之一：CF₄、SF₆、C₂Cl₂F₄。在一些实施例中，在使用干法刻蚀时，将所述基板的具有所述牺牲层图案的一面朝向下方，以使得所述牺牲层图案上的发光材料随着所述牺牲层被刻蚀掉而自然脱落。

根据本公开的第二方面，还提供了一种使用如根据本公开第一方面所述的方法制造的有机发光显示面板。

通过使用根据本公开实施例的有机发光显示面板的制备方法，可以在形成其发光层时避免由于高温蒸镀导致掩模板形变而造成的对位不准确的问题，使得EL层不会出现像素混色。

附图说明

通过下面结合附图说明本公开的优选实施例，将使本公开的上述及其它目的、特征和优点更加清楚，其中：

图1是示出了根据本公开实施例的示例有机发光显示面板的示例像素的截面图；

图2是示出了根据本公开实施例的在形成牺牲层图案之后的像素局部截面图；

图3是示出了根据本公开实施例的在蒸镀有机发光材料之后的像素局部截面图；

图4是示出了根据本公开实施例的在刻蚀牺牲层图案时的像素局部截面图；

图5是示出了根据本公开实施例的在去除牺牲层图案和多余的发光材料之后的像素局部截面图；以及

图6是示出了根据本公开实施例的用于制备有机发光显示面板的示例方法的流程图。

具体实施方式