[发明专利]热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法

权利要求书

1.一种热处理装置，包括：

腔室；

第一加热板，配置于所述腔室内；

第二加热板，配置于所述腔室内，且配置于所述第一加热板的一面上，具有多个狭缝；以及

气体喷射单元，构成为向所述第一加热板的所述一面侧喷射气体，

在所述第二加热板的中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板的边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，

所述气体喷射单元，包括：

多个第一流路部，沿与所述第一加热板的所述一面平行的第一方向延伸而提供沿所述第一方向的流路,且沿与所述第一方向交叉的第二方向隔开配置,

所述狭缝是沿所述第一方向延伸的形状，

所述狭缝的在所述第一方向的中央部的宽度大于所述狭缝的在所述第一方向的端部的宽度。

3.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，

所述多个狭缝包括：

第一狭缝，位于所述第二加热板的所述第二方向的中央部；以及

第二狭缝，相比于所述第一狭缝位于所述第二加热板的所述第二方向的边缘部，

所述第一狭缝的宽度大于所述第二狭缝的宽度。

4.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，

在所述第一加热板与所述第二加热板之间定义有热处理空间，且包括：

第一副加热器，构成为相比于所述热处理空间的边缘部能够向中央部施加更多的热量；

基板安置板，配置于所述第一加热板与所述第二加热板之间；

气流阻挡块，配置于所述第一加热板与所述第二加热板之间，沿着所述第二加热板的边缘配置成带形状；

气帘气体喷射部，以包围所述气流阻挡块的方式配置于所述气流阻挡块的外侧；

第二副加热器，以包围所述气流阻挡块的方式配置于所述气流阻挡块的外侧，且构成为向所述热处理空间侧提供热量；以及

排气罩，配置于所述第二加热板的上部，

所述气体喷射单元构成为向所述基板安置板侧喷射气体。

5.根据权利要求4所述的热处理装置，其中，

所述气体喷射单元还包括：

气体供应源，供应所述气体；以及

气体供应管，在所述气体供应源与所述腔室内部的多个所述第一流路部之间提供流路，

所述第二加热板具有多个通孔，

所述第一流路部配置于所述第一加热板与所述第二加热板之间，

所述气体供应管的至少一部分通过所述通孔贯穿所述第二加热板并直接连接于所述第一流路部，

所述第一副加热器配置于所述第二加热板与所述排气罩之间，

所述第一副加热器沿所述第一方向延伸且沿所述第二方向隔开配置为多个，

所述第一副加热器与所述第一流路部重叠。

6.根据权利要求4所述的热处理装置，其中，

所述第二加热板具有多个通孔，

所述气体喷射单元还包括：

气体供应源，供应所述气体；

气体供应管，在所述气体供应源与所述腔室内部的多个所述第一流路部之间提供流路；以及

多个第二流路部，从所述第一流路部凸出而通过所述通孔贯穿所述第二加热板，且构成为向所述基板安置板侧喷射气体，

所述第一流路部配置于所述第二加热板与所述排气罩之间，所述多个第一流路部为2ⁿ个,其中，n为自然数，

所述气体供应管包括：

第一气体分配管，沿一方向延伸；以及

两个第二气体分配管，从所述第一分配管分支，

从所述气体供应源至各所述第一流路部的流路长度均相同，

所述第一副加热器沿所述第一方向延伸并沿所述第二方向隔开配置，且为2ⁿ⁺¹个，

所述第一副加热器配置于所述第一流路部的两侧。