[发明专利]热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法

说明书

本发明提供一种热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法。根据本发明的一实施例的热处理装置包括：腔室；第一加热板，配置于所述腔室内；第二加热板，配置于所述腔室内，且配置于所述第一加热板的一面上，具有多个狭缝；以及气体喷射单元，构成为向所述第一加热板的所述一侧面喷射气体，其中，在所述第二加热板中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。

技术领域

本发明涉及一种热处理装置以及利用该热处理装置的膜制造方法。

背景技术

有机发光元件作为自发光型元件而应用于显示装置的情况下,不仅可视角度宽广、对比度出色，而且还具有响应速度、亮度、驱动电压特性出色且可实现多色化的优点。

有机发光元件(organic light emitting device)具有在注入空穴(hole)的阳极电极(anode electrode)与注入电子(electron)的阴极电极(cathode electrode)之间夹设有包括空穴注入层、空穴传输层以及发光层的有机膜的结构。在对所述两个电极之间施加电压时，空穴与电子在发光层重新结合而形成激子，随着该激子从激发态转变为基态而发光。

发明内容

另一方面，作为用于在所述阳极电极与阴极电极之间形成有机膜的一种方法，可以列举出喷墨印刷或者喷嘴印刷等溶液涂布工艺。所述溶液涂布工艺，可以通过使有机溶液排放到所期望的位置且使所述有机溶液与高温的惰性气体接触而对所述有机溶液进行干燥(curing)以及烘干(baking)，从而形成所述有机膜。

但是，所述干燥以及烘干工序在不同的腔室执行，因此可能会成为使工序变得复杂且成本上升的原因。另外，在所述干燥以及烘干过程中，加热路径根据所述有机溶液的排放位置而不同，因此可能会发生有机溶液不被均匀地干燥的问题，这种问题可能会根据基板，例如有机发光显示面板基板的大面积化而变得更加严重。

因此，本发明所要解决的课题是提供一种热处理装置，其能够使工序简单化且对基板上的有机溶液或者有机膜进行均匀的热处理，从而能够制造出均匀度(uniformity)得到提高的膜。

本发明所要解决的另一课题是提供一种膜制造方法，其通过对基板上的有机溶液或者有机膜进行均匀的热处理，从而可以使均匀度得到提高且使杂质含量最小化。

本发明的课题并不限定于以上提及的技术课题，本领域的技术人员应该可以通过以下说明明确地理解未提及的其他技术课题。

用于解决所述问题的根据本发明的一实施例的热处理装置包括：腔室；第一加热板，配置于所述腔室内；第二加热板，配置于所述腔室内，且配置于所述第一加热板的一面上，具有多个狭缝；以及气体喷射单元，构成为向所述第一加热板的所述一面侧喷射气体，其中，在所述第二加热板中央部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积大于在所述第二加热板边缘部的每单位面积中所述狭缝所占的平面上的面积。

所述气体喷射单元包括多个第一流路部，该多个第一流路部沿与所述第一加热板的所述一面平行的第一方向延伸而提供沿所述第一方向的流路，且沿与所述第一方向交叉的第二方向隔开配置。

另外，所述狭缝是沿所述第一方向延伸的形状，所述狭缝的在所述第一方向的中央部的宽度可以大于所述狭缝的在所述第一方向的端部的宽度。

另外，所述多个狭缝包括：第一狭缝，位于所述第二加热板的所述第二方向的中央部；以及第二狭缝，相比于所述第一狭缝位于所述第二加热板的所述第二方向的边缘部，其中，所述第一狭缝的宽度可以大于所述第二狭缝的宽度。

在所述第一加热板与所述第二加热板之间定义有热处理空间，还可以包括第一副加热器，构成为相比于所述热处理空间的边缘部能够向中央部提供更多的热量。