[发明专利]张网设备

权利要求书

1.一种张网设备，用以制备蒸镀用金属掩膜板；其特征在于，所述张网设备包括：

张紧机构，至少包括相对设置的第一夹具和第二夹具，所述第一夹具固定于所述金属掩膜板的第一端部，所述第二夹具固定于所述金属掩膜板相对另一端的第二端部；

水平板，可升降地设置于所述金属掩膜板上方；

测量机构，设置于所述张网设备的工作区域内，所述测量机构用以在所述工作区域内作三维移动，以对所述金属掩膜板上的图案进行位置信息采集；以及，

磁吸机构，可升降地设置于所述水平板上方，用以吸附所述金属掩膜板，使得所述金属掩膜板产生形变。

2.根据权利要求1所述的张网设备，其特征在于，所述测量机构包括上图像采集装置和下图像采集装置，所述上图像采集装置位于所述金属掩膜板上方，所述下图像采集装置位于所述金属掩膜板下方。

3.根据权利要求1所述的张网设备，其特征在于，所述水平板为金属板，所述水平板面向所述金属掩膜板的一侧为黑色氧化面。

4.根据权利要求3所述的张网设备，其特征在于，所述水平板的黑色氧化面表面平坦度小于或等于1um。

5.根据权利要求1所述的张网设备，其特征在于，所述张网设备还包括升降装置，所述升降装置包括底座和设置于所述底座上的升降臂，所述升降臂垂直于所述底座设置。

6.根据权利要求5所述的张网设备，其特征在于，所述磁吸机构包括磁性板，所述磁性板的一端可升降地固定于所述升降臂上。

7.根据权利要求6所述的张网设备，其特征在于，所述水平板的一端可升降地固定于所述升降臂上，所述水平板与所述磁性板平行设置。

8.根据权利要求1所述的张网设备，其特征在于，所述金属掩膜板下方设置有金属边框。

9.根据权利要求8所述的张网设备，其特征在于，所述张网设备还包括焊接机构，所述焊接机构包括移动装置，所述移动装置的一端设置有激光焊枪。

10.一种使用如权利要求1所述的张网设备制备金属掩膜板的方法，其特征在于，所述方法包括：

步骤S10，使用张紧机构的夹具固定金属掩膜板；

步骤S20，提供上图像采集装置，使用所述上图像采集装置对所述金属掩膜板进行测量，获取第一位置信息；其中，所述上图像采集装置设置于所述金属掩膜板上侧；

步骤S30，所述张紧机构根据所述第一位置信息对所述金属掩膜板进行拉伸调整；

步骤S40，提供水平板；所述水平板设置于所述金属掩膜板上方；

步骤S50，提供磁性板；所述磁性板设置于所述水平板上方，所述磁性板吸附所述金属掩膜板，并使得所述金属掩膜板产生形变且贴合于所述水平板一侧；

步骤S60，提供下图像采集装置使用所述下图像采集装置对形变后的所述金属掩膜板进行测量，获取第二位置信息；其中，所述下图像采集装置设置于所述金属掩膜板下侧；

步骤S70，所述张紧机构根据所述第二位置信息对所述金属掩膜板进行第二次拉伸调整。