[发明专利]张网设备

说明书

本发明提供一种张网设备，用以制备蒸镀用金属掩膜板；包括：张紧机构，至少包括相对设置的第一夹具和第二夹具，第一夹具固定于金属掩膜板的第一端部，第二夹具固定于金属掩膜板相对另一端的第二端部；水平板，可升降地设置于金属掩膜板上方；测量机构，设置于张网设备的工作区域内，用以对金属掩膜板上的图案进行位置信息采集；以及，磁吸机构，可升降地设置于水平板上方，用以吸附金属掩膜板，使得金属掩膜板产生形变；有益效果为：本发明提供的张网设备，在制作金属掩膜板时，模拟金属掩膜板在使用中的形变，通过检测形变后的金属掩膜板表面的金属图案位置信息，对金属掩膜板进行调整，进而得到高精度的金属掩膜板。

技术领域

本发明涉及显示面板制造领域，尤其涉及一种用以制备金属掩膜板的张网设备。

背景技术

有机电致发光器件(OLED)以其自发光、全固态、高对比度等优点，成为近年来最具潜力的新型显示器件。在OLED制备过程中需使用精密金属掩膜来定义pixel(像素区域)，从而使蒸发的有机材料沉积在pixel区域内，在蒸镀的过程中通过磁力使金属掩膜板与玻璃基板紧密接触，有鉴于此，金属掩膜板制作的品质直接影响蒸镀pixel的位置精度。

现行的金属掩膜板制作工艺中使用张网机将曝光蚀刻后的金属掩膜板焊接在金属框上从而获得蒸镀用的金属掩膜板，制作过程中通过CCD(Change-coupledDevice，电荷耦合器件)检测机，捕捉金属掩膜板上像素开口的位置，通过对比实际位置与设计值的差异获得张网机构的修正量，将此信息反馈给张紧机构进行位置的修正，重复以上步骤直至实际位置与设计位置一致，pixel位置准确后通过laser head(激光焊枪)进行焊接将金属掩膜板固定在金属框上。但金属掩膜板实际使用过程中会通过磁力吸附使其与玻璃基板紧密接触，而此过程成中金属掩膜板在磁力的作用下会产生变形，进而导致pixel位置偏移引起产品混色、缺色及mura(画面亮度不均匀)等缺陷，而现行的金属掩膜板制作工艺无法补正此部分缺陷。

综上所述，现有技术的张网设备制作的金属掩膜板，金属掩膜板在使用时会产生形变，导致玻璃基板表面定义的像素位置存在偏差，进而导致显示面板出现混色、缺色及mura等缺陷。

发明内容

本发明提供一种张网设备，能够模拟金属掩膜板在使用中的形变，通过检测形变后的金属掩膜板表面的金属图案位置信息，对金属掩膜板进行调整，以解决现有技术的张网设备制作的金属掩膜板，产生形变后导致玻璃基板表面定义的像素位置存在偏差，进而导致显示面板出现混色、缺色及mura的缺陷的技术问题。

为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：

本发明提供一种张网设备，用以制备蒸镀用金属掩膜板；所述张网设备包括：

张紧机构，至少包括相对设置的第一夹具和第二夹具，所述第一夹具固定于所述金属掩膜板的第一端部，所述第二夹具固定于所述金属掩膜板相对另一端的第二端部；

水平板，可升降地设置于所述金属掩膜板上方；

测量机构，设置于所述张网设备的工作区域内，所述测量机构用以在所述工作区域内作三维移动，以对所述金属掩膜板上的图案进行位置信息采集；以及，

磁吸机构，可升降地设置于所述水平板上方，用以吸附所述金属掩膜板，使得所述金属掩膜板产生形变。

根据本发明一优选实施例，所述测量机构包括上图像采集装置和下图像采集装置，所述上图像采集装置位于所述金属掩膜板上方，所述下图像采集装置位于所述金属掩膜板下方。

根据本发明一优选实施例，所述水平板为金属板，所述水平板面向所述金属掩膜板的一侧为黑色氧化面。

根据本发明一优选实施例，所述水平板的黑色氧化面表面平坦度小于或等于1um。