[发明专利]设置以装载或卸下掩模盒的设备在审

申请号：	201710963389.3	申请日：	2017-10-17
公开（公告）号：	CN109326533A	公开（公告）日：	2019-02-12
发明（设计）人：	李雨青;方玉标	申请（专利权）人：	台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号：	H01L21/67	分类号：	H01L21/67;H01L21/677
代理公司：	隆天知识产权代理有限公司 72003	代理人：	李昕巍;郑特强
地址：	中国台***	国省代码：	中国台湾;71
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摘要：
搜索关键词：	支撑物装载端矩形区掩模盒内侧壁卸下装载对角线矩形棱柱相隔
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【说明书】：

本公开提供一种设置以装载或卸下掩模盒的设备，包括：第一装载端支撑物；以及第二装载端支撑物，与第一装载端支撑物相隔。第一装载端支撑物与第二装载端支撑物各自包含L型矩形棱柱的至少部分。第一装载端支撑物与第二装载端支撑物位于矩形区的对角线上，其中第一装载端支撑物的第一内侧壁与第二装载端支撑物的第二内侧壁划定矩形区的边界，且其中矩形区的第一宽度等于掩模盒的第二宽度，且矩形区的第一长度等于掩模盒的第二长度。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，具体而言，涉及避免损伤掩模盒中掩模的装置与方法。

背景技术

光刻通常指的是用以转移几何图案至基板或基板上的层状物的光学制程。举多光刻技术采用光敏材料(一般称作光刻胶)以产生几何图案。举例来说，掩模可置于光刻胶上，接着以射线束如紫外线或准分子激光曝光光刻胶。可进行烘烤或硬化步骤以硬化光刻胶，且可采用显影剂移除光刻胶的曝光部分或未曝光部分，端视光刻胶为正型或负型而定。如此一来，对应掩模的图案将形成于光刻胶中，而图案化的光刻胶可作为遮罩层，以将图案转移至下方层。

发明内容

本发明一实施例提供的设置以装载或卸下掩模盒的设备，包括：第一装载端支撑物；以及第二装载端支撑物，与第一装载端支撑物相隔，其中第一装载端支撑物与第二装载端支撑物各自包含L型矩形棱柱的至少部分，其中第一装载端支撑物与第二装载端支撑物位于矩形区的对角线上，其中第一装载端支撑物的第一内侧壁与第二装载端支撑物的第二内侧壁划定矩形区的边界，且其中矩形区的第一宽度等于掩模盒的第二宽度，且矩形区的第一长度等于掩模盒的第二长度。

附图说明

图1A与图1B分别为一些实施例中，装载端的透视图与平面图。

图2A与图2B分别为一些实施例中，开启状态与关闭状态中的掩模盒其附图。

图3是一些实施例中，自装载端卸下掩模盒的剖视图。

图4是一些实施例中，装载端以及与其相连的装载端支撑物的透视图。

图5A与图5B分别为一些实施例中，装载端支撑物的透视图与平面图。

图6是一些实施例中，另一装载端支撑物的透视图。

图7是一些实施例中，包含装载端支撑物的装载端其透视图。

图8是一些实施例中，图7中的装载端支撑物的透视图。

图9是一些实施例中，另一装载端支撑物的透视图。

图10是一些实施例中，具有感应器的智能装载端的透视图。

图11是一些实施例中，具有感应器的智能装载端的透视图。