[发明专利]一种用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置及粘贴方法

权利要求书

1.一种用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其特征在于：其包括中心支架，设置在所述中心支架顶端的吸附平台，设置在所述中心支架一侧的导气管，所述导气管的一端连接至气泵源，所述导气管的另一端连接至所述吸附平台上，所述吸附平台上设有若干吸气孔，所述导气管与所述吸气孔贯通，所述吸附平台的端面可拆卸的固定有光学石英基板，所述光学石英基板的上表面粘贴AWG芯片。

2.根据权利要求1所述的用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其特征在于：所述吸附平台上设有定位键，通过所述定位键将所述光学石英基板定位在所述吸附平台上。

3.根据权利要求2所述的用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其特征在于：所述光学石英基板上开设有槽口，所述槽口与所述定位键配合定位。

4.根据权利要求1所述的用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其特征在于：所述吸附平台为铝合金吸附平台，所述吸附平台表面总平整度为0.2-0.8。

5.根据权利要求1所述的用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其特征在于：所述吸气孔的数量为偶数个，所述吸气孔两两相通。

6.根据权利要求1所述的用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其特征在于：还包括用于观察所述AWG芯片端面的反光镜，所述反光镜设置在所述中心支架的两侧。

7.根据权利要求1所述的用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其特征在于：还包括操作平台，所述操作平台上设有用于保持所述吸附平台真空状态的真空阀，所述真空阀与所述气泵源配合。

8.根据权利要求7所述的用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其特征在于：所述操作平台上还设有放气阀和与所述放气阀配合的排气孔，所述放气阀与排气孔配合释放所述吸附平台内部的真空。

9.根据权利要求7所述的用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其特征在于：所述操作平台上还设有用于控制电气系统的电源开关，用于控制气压大小的调压阀，用于显示压力的压力表。

10.一种阵列波导光栅AWG的粘贴方法，其特征在于，包括以下步骤：

S 101将待粘贴的石英基板与AWG芯片放置在装有无水乙醇的容器内，使用超声波清洗；

S 102将清洗后的石英基板与AWG芯片放入70-90℃烤箱内烘烤1.5-3h；

S 103将曲线形AWG芯片通过UV紫外胶固定在光学石英基板表面，首先通过紫外灯进行预固化，然后高温热固化，通过TC循环对AWG芯片进行应力释放；

S 104打开电源开关，将粘贴完成的AWG芯片放置在吸附平台上；

S 105调节调压阀，将真空压力表指针调节至所需要的压力值，然后开启真空阀，待真空度达到要求时，关闭真空阀，AWG芯片被自动固定在吸附平台上；

S 106AWG光器件耦合完成后，打开放气阀，释放吸附平台内真空，取下器件。