[发明专利]一种用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置及粘贴方法

说明书

技术领域

本发明涉及光纤通信领域，具体涉及一种用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置及粘贴方法。

背景技术

阵列波导光栅(AWG)是基于平面光波导集成技术的重要光器件,随着通信技术及其业务的飞速发展，大容量光纤通信系统的研究具有很大的应用价值。阵列波导光栅是实现多通道密集波分复用光网络的最理想光器件，也是作为骨干光传输网与城域核心网的基本光通信技术，已经成为光通信网络的基础。它具有波长的合波/分波功能，而波长复用与解复用器件则是这一技术的基本器件，凭借其通道数多、体积小、易与其它器件集成的优势已经取代传统的TFF的密集波分复用/解复用器，AWG具有对称结构,并且可以对多波长信号进行同步处理,而且能够实现DWDM光通信网中多波长信道的互联路由、交换处理和上下回路，AWG已成为DWDM系统中核心器件，应用极为广泛。

由于国际电信联盟(ITU-T)通道带宽对密集波分复用的平坦度、谱宽、隔离度等技术指标也都有严格要求。同时，由于AWG芯片曲线形的本身特性，以及AWG芯片材质(单晶硅)硬度大而脆性差、厚度较薄的影响，使得AWG器件生产的装夹以及耦合工艺难度增加，在整个AWG器件生产过程中，因操作不当，极易造成AWG芯片的报废，导致生产成本高。

发明内容

本发明提供一种用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置及粘贴方法，本发明的装置结构简单，操作使用方便，电气系统运行更平稳，易于批量生产，提高了生产效率，降低材料和人工成本。

为达到上述目的，本发明的技术方案如下：

一种用于阵列波导光栅AWG的自动吸附装置，其包括中心支架，设置在所述中心支架顶端的吸附平台，设置在所述中心支架一侧的导气管，所述导气管的一端连接至气泵源，所述导气管的另一端连接至所述吸附平台上，所述吸附平台上设有若干吸气孔，所述导气管与所述吸气孔贯通，所述吸附平台的端面可拆卸的固定有光学石英基板，所述光学石英基板的上表面粘贴AWG芯片。

在本发明的一个较佳实施例中，进一步包括：所述吸附平台上设有定位键，通过所述定位键将所述光学石英基板定位在所述吸附平台上。

在本发明的一个较佳实施例中，进一步包括：所述光学石英基板上开设有槽口，所述槽口与所述定位键配合定位。

在本发明的一个较佳实施例中，进一步包括：所述吸附平台为铝合金吸附平台，所述吸附平台表面总平整度为0.2-0.8。

在本发明的一个较佳实施例中，进一步包括：所述吸气孔的数量为偶数个，所述吸气孔两两相通。

在本发明的一个较佳实施例中，进一步包括：还包括用于观察所述AWG芯片端面的反光镜，所述反光镜设置在所述中心支架的两侧。

在本发明的一个较佳实施例中，进一步包括：还包括操作平台，所述操作平台上设有用于保持所述吸附平台真空状态的真空阀，所述真空阀与所述气泵源配合。

在本发明的一个较佳实施例中，进一步包括：所述操作平台上还设有放气阀和与所述放气阀配合的排气孔，所述放气阀与排气孔配合释放所述吸附平台内部的真空。

在本发明的一个较佳实施例中，进一步包括：所述操作平台上还设有用于控制电气系统的电源开关，用于控制气压大小的调压阀，用于显示压力的压力表。

在本发明的一个较佳实施例中，进一步包括：一种阵列波导光栅AWG的粘贴方法，包括以下步骤：

S101将待粘贴的石英基板与AWG芯片放置在装有无水乙醇的容器内，使用超声波清洗；

S102将清洗后的石英基板与AWG芯片放入70-90℃烤箱内烘烤1.5-3h；

S103将曲线形AWG芯片通过UV紫外胶固定在光学石英基板表面，首先通过紫外灯进行预固化，然后高温热固化，通过TC循环对AWG芯片进行应力释放；

S104打开电源开关，将粘贴完成的AWG芯片放置在吸附平台上；

S105调节调压阀，将真空压力表指针调节至所需要的压力值，然后开启真空阀，待真空度达到要求时，关闭真空阀，AWG芯片被自动固定在吸附平台上；

S106AWG光器件耦合完成后，打开放气阀，释放吸附平台内真空，取下器件。

本发明的有益效果是:

1、本发明的吸附平台装置采用电气控制系统完成真空吸附，操作方便，设备故障率低且故障易排除。

2、本发明的吸附平台装置上设有若干个微小吸气孔，表面平整，且孔与孔两两相连，保证了吸气的均匀性，并在其左上角开有倒置的L型定位键，保证了光学石英基板的安装位置精度。