[发明专利]照明装置及曝光装置

说明书

本申请是中国专利申请号为201380037678.0、进入国家阶段日期为2015年1月14日，国际申请日为2013年5月22日、PCT国际申请号为PCT/JP2013/064228、发明名称为“照明装置、处理装置及器件制造方法”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及照明装置及曝光装置。

本申请基于2012年5月29日的美国临时申请61/652，719号主张优先权，并在此援用其内容。

背景技术

近年来，作为电视机等的显示装置，大多使用例如液晶显示面板等平板显示器。在平板显示器这样的各种器件的制造中，利用曝光装置等处理装置。例如，利用基于曝光装置而实现的光刻方法、蚀刻技术等，在玻璃板上形成透明薄膜电极等各种膜图案，由此来制造液晶显示面板。作为光刻方法，提出有取代玻璃板而在卷绕成卷状的片状基板上对掩膜图案的像进行投影曝光的方法(例如，参照下述的专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国特开2007-114385号公报

发明内容

出于能够高效地制造器件等的观点而期待曝光装置等处理装置扩大处理范围，在用于这样的处理装置的照明装置中，期望扩大与被处理物的移动方向垂直的方向上的光的照射范围。

本发明方案的目的在于，提供一种能够扩大处理范围的照明装置及曝光装置。

根据本发明的第1方案，提供一种照明装置，对被处理物照射沿第1方向延伸的狭缝状的照明光，其特征在于，具备：多个固体光源部，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成所述第1方向长且所述第2方向短的多个局部照明区域时，该多个固体光源部以对所述多个局部照明区域各自分别照射所述照明光的方式配置；和光束合成部，其沿着所述狭缝状的照明区域配置，将所述第1方向设为长度方向且截面为三角形的2个棱镜的包含长度方向的斜面相互接合，以所述斜面上的沿着所述第1方向的部分中的、与所述多个局部照明区域的第奇数个和第偶数个中的某一方对应的部分相对于所述照明光成为通过部、且与另一方对应的部分相对于所述照明光成为反射部的方式，形成有反射膜。

根据本发明的第2方案，提供一种曝光装置，一边将沿第1方向延伸的狭缝状的照明光向掩膜图案的一部分照射、一边使所述狭缝状的照明光和所述掩膜图案沿着与所述第1方向交叉的第2方向相对地移动，利用从所述掩膜图案通过的所述照明光对基板的感光层进行曝光，所述曝光装置的特征在于，具备：第奇数个用的多个光源部，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域分成所述第1方向长且所述第2方向短的多个局部照明区域时，所述第奇数个用的多个光源部以对所述多个局部照明区域中的沿着所述第1方向的第奇数个的所述局部照明区域各自分别照射所述照明光的方式，相对于所述狭缝状的照明区域的法线配置于所述第2方向的一侧；第偶数个用的多个光源部，其以对所述多个局部照明区域中的沿着所述第1方向的第偶数个的所述局部照明区域各自分别照射所述照明光的方式，相对于所述狭缝状的照明区域的法线配置于所述第2方向的另一侧；和偏转部件，其具有多个第奇数个用的反射镜和多个第偶数个用的反射镜，所述多个第奇数个用的反射镜使向所述第奇数个的局部照明区域各自照射的来自所述第奇数个用的多个光源部各自的所述照明光从所述一侧向所述法线的方向反射，所述多个第偶数个用的反射镜使向所述第偶数个的局部照明区域各自照射的来自所述第偶数个用的多个光源部各自的所述照明光从所述另一侧向所述法线的方向反射。

根据本发明的第3方案，提供一种曝光装置，使沿着从中心线以规定半径弯曲成圆筒状的外周面保持有透射型的掩膜图案的旋转滚筒绕所述中心线旋转，从所述旋转滚筒的内部向所述掩膜图案照射与所述中心线平行地延伸的狭缝状的照明光，通过从所述掩膜图案透射的光对基板的感光层进行曝光，所述曝光装置的特征在于，具备多个照明模块，在将所述狭缝状的照明光所照射的狭缝状的照明区域在所述中心线所延伸的第1方向上分成多个局部照明区域时，该多个照明模块与所述多个局部照明区域各自对应地在所述旋转滚筒内沿着所述第1方向配置，并对所述局部照明区域各自照射照明光，使从所述多个照明模块各自朝向所述局部照明区域的所述照明光的扩散角在与所述第1方向正交的第2方向、及所述第1方向上为各向同性。

发明效果

根据本发明的方式，能够提供一种可扩大处理范围的照明装置及曝光装置。

附图说明

图1是表示器件制造系统的一例的图。