[发明专利]一种晶圆传输方法及装置

权利要求书

1.一种晶圆传输方法，其特征在于，包括

至少两个晶圆拾取装置、沿多个晶圆清洗槽设置的移动轨道；

至少两个所述晶圆拾取装置同步沿移动轨道移动，且交替工作用于拾取和输送晶圆；

所述晶圆拾取装置数量为m个，所述清洗槽的数量为n个；

其中，m为大于1的自然数，n为大于2的自然数；

n个所述清洗槽依次沿所述移动轨道顺序布设，用于对晶圆进行清洗；

晶圆拾取和输送过程包括如下步骤：

S1：m个所述晶圆拾取装置同步沿所述移动轨道移动，使得第i个晶圆拾取装置移动到第j个清洗槽的清洗工位，拾取第j个清洗槽中的晶圆；

S2：m个所述晶圆拾取装置同步沿所述移动轨道移动，使得第i+1个晶圆拾取装置移动到第j+1个清洗槽的清洗工位；

第i+1个晶圆拾取装置拾取第j+1个所述清洗槽中的晶圆；

S3：m个所述晶圆拾取装置同步沿所述移动轨道移动，使得第i个晶圆拾取装置移动到第j+1个清洗槽的清洗工位；将第j个清洗槽中取出的晶圆放入第j+1个所述清洗槽中进行清洗处理；

其中，1≤i≤m-1；1≤j≤n-1，m个所述晶圆拾取装置交替循环作业拾取，直至晶圆通过全部清洗工序；

所述晶圆拾取装置跳跃式作业，即每个所述晶圆拾取装置相邻两次拾取作业间隔m-1个清洗槽；

第i个晶圆拾取装置负责将第(i+xm)个所述清洗槽中的晶圆拾取、输送并放置到第(i+xm)+1个所述清洗槽中；

其中，i为自然数，且1≤i≤m；

x为所述晶圆拾取装置的拾取循环次数，x为非负整数，且(i+xm)+1≤n。

2.根据权利要求1所述的晶圆传输方法，其特征在于，所述晶圆拾取装置的数量为2-5个。

3.一种用于权利要求1或2所述的晶圆传输方法的晶圆传输装置，其特征在于，其包括至少两个晶圆拾取装置、沿多个晶圆清洗槽设置的移动轨道、驱动装置以及控制器；

所述控制器通过驱动装置驱动所述晶圆拾取装置沿所述移动轨道上同步移动。

4.根据权利要求3所述的晶圆传输装置，其特征在于，每个所述晶圆拾取装置包括：基座和机械爪；

所述基座可滑动地设置在所述移动轨道上，所述驱动装置与所述基座连接，用于驱动基座携带着机械爪沿移动轨道移动；

所述机械爪用于抓取和运输所述晶圆。

5.根据权利要求4所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述机械爪上设置有用于监测夹持口张开、闭合、抓住晶圆和未抓住晶圆四种状态的传感器；所述传感器与所述控制器连接。

6.根据权利要求4所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述机械爪通过升降机构可升降地设置在所述基座上；

所述控制器与所述升降机构连接，并通过所述升降机构控制所述机械爪的升降；

各所述晶圆拾取装置的升降机构彼此独立运动，互不干涉。

7.根据权利要求6所述的晶圆传输装置，其特征在于，所述升降机构上设置有滑块，所述机械爪可任意角度旋转地设置在所述滑块上，进而实现晶圆在竖直和水平方向的转换。