[发明专利]天线、用于产生等离子体的电路，以及等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体产生电路，包括：

第一射频功率源和第二射频功率源，被配置为分别产生第一射频功率和第二射频功率；

第一天线和第二天线，被配置为接收所述第一射频功率和第二射频功率以分别产生等离子体，所述第一天线和第二天线彼此相邻布置并且磁耦合以具有第一互感；

第一匹配电路，连接在第一射频功率源和第一天线之间；

第二匹配电路，连接在第二射频功率源和第二天线之间；

第一电感器，串联连接在第一天线和第一匹配电路之间；

第二电感器，串联连接在第二天线和第二匹配电路之间；

其中所述第一电感器和第二电感器彼此相邻布置并且磁耦合以具有第二互感以消除所述第一互感，

其中第一互感具有正值并且第二互感具有负值，或者第一互感具有负值并且第二互感具有正值，

其中所述第一天线和第二天线中的每一个包括：

输入电极；

分支电极，被连接到所述输入电极，其中分支电极被设置多个；以及

线圈电极，被分别连接到所述分支电极的相对端部，线圈电极延伸并连接所述分支电极的端部，

其中所述第一天线的线圈电极的圈数等于所述第二天线的线圈电极的圈数，

其中所述第一天线的线圈电极的圈数等于所述第二天线的线圈电极的圈数，其中所述线圈电极是偏心线圈电极，以及

其中所述偏心线圈电极中的每一个包括：

顶线圈；

连接电极，其连接到所述顶线圈；以及

底线圈，其连接到所述连接电极并且在所述顶线圈下方。

2.根据权利要求1所述的等离子体产生电路，其中所述第一电感器以与所述第二电感器相反的方向被绕圈，并且

其中所述第一天线以与所述第二天线相同的方向被绕圈。

3.根据权利要求1所述的等离子体产生电路，其中所述第一天线在所述第二天线内侧，

其中所述第一天线包括两个分支电极，以及

其中所述第二天线包括四个分支电极。

4.根据权利要求1所述的等离子体产生电路，其中所述第一天线的线圈电极中的每一个从该线圈电极连接到的所述分支电极的端部被绕圈两次，以及

其中所述第二天线的线圈电极中的每一个从该线圈电极连接到的所述分支电极的端部被绕圈一次。

5.根据权利要求1所述的等离子体产生电路，其中所述第一天线和第二天线中的每一个还包括：

输出电极，被连接到所述线圈电极的端部；以及

环形电极，被连接到所述输出电极并且在所述分支电极和所述线圈电极上。

6.根据权利要求5所述的等离子体产生电路，还包括：

第一电容器和第二电容器，被分别连接到所述第一天线和第二天线。

7.根据权利要求6所述的等离子体产生电路，其中所述第一电容器在所述第一天线的环形电极外部并且被连接到所述第一天线的环形电极，并且

其中所述第二电容器在所述第二天线的环形电极内侧并且被连接到所述第二天线的环形电极。

8.根据权利要求1所述的等离子体产生电路，其中第一匹配电路被连接在所述第一射频功率源和所述第一电感器之间；以及

其中第二匹配电路被连接在所述第二射频功率源和所述第二电感器之间，

其中所述第一匹配电路和第二匹配电路被配置为分别匹配所述第一射频功率和第二射频功率的阻抗。