[发明专利]真空冷坩埚凝壳炉电极传动系统有效

专利信息
申请号: 201710993105.5 申请日: 2017-10-23
公开(公告)号: CN107604174B 公开(公告)日: 2020-08-25
发明(设计)人: 张增海;张哲魁;马海玲;刘君 申请(专利权)人: 沈阳真空技术研究所有限公司
主分类号: C22B9/21 分类号: C22B9/21;B22D13/10
代理公司: 沈阳亚泰专利商标代理有限公司 21107 代理人: 许宇来
地址: 110092 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 真空 坩埚 凝壳炉 电极 传动系统
【权利要求书】:

1.真空冷坩埚凝壳炉电极传动系统,包括行走机构、升降平台、门式框架、反顶快速提升机构,电极杆、动密封座、升降平台的升降动力单元、电极室升降机构,其特征在于门式框架设置在行走机构上,升降平台设置在门式框架上,反顶快速提升机构设置在升降平台上,反顶快速提升机构的动力输出端与电极杆上端相连,动密封座设置在电极室上方与电极室上端口相对应,电极杆下端穿过动密封座中心,升降动力单元设置在平台上,电极室升降机构设置在门式框架上;

所述行走机构包括电机和横向支撑框,支撑框为两个,门式框架下端两侧设置在两侧支撑框上;电机设置在门式框架下部,电机输出轴上设置有主动齿轮,主动齿轮通过链条与主动齿轮下方的从动齿轮相连,从动齿轮设置在横向传动轴端部,横向传动轴两侧与两侧支撑框后下端滚轮中心相连,两侧支撑框前端和中部均对应设置有滚轮;滚轮设置在平台上的工字钢上;

所述电极传动系统还包括铜排快速锁紧机构和到位锁紧装置,铜排快速锁紧机构设置在门式框架前到位位置处,铜排快速锁紧机构包括移动压板、竖向铜排支架、横向压紧油缸和连接铜排,压紧油缸固定在铜排支架上端,压紧油缸的缸杆前端部装有推杆,推杆与移动压板相连,移动压板前方设置有过渡铜排,门式框架的侧方设置有连接铜排,移动压板与过渡铜排的位置相应于连接铜排前到位位置设置,连接铜排到达前到位位置时,连接铜排置于移动压板与过渡铜排之间;连接铜排与阴极电缆下端把接,阴极电缆上端与给电极杆供电的导电铜排相连,导电铜排设置在电极杆上部;过渡铜排设置在铜排支架上端;

所述到位锁紧装置包括设置在平台上的竖向锁紧油缸和设置在支撑框侧壁上的口字形锁紧框,口字形锁紧框下前端面中部设置有U形槽口,锁紧油缸的上端伸出杆设置在U形槽口前方的U形槽口移动路径上,锁紧油缸的上端伸出杆上端设置有与U形槽口上端面相配合的圆盘状压头;

所述升降平台两侧设置有滑块,门式框架上相应于滑块设置有竖向滑轨。

2.根据权利要求1所述真空冷坩埚凝壳炉电极传动系统,其特征在于所述反顶快速提升机构包括两个气缸,两个气缸设置在升降平台前后两侧,气缸通过缸体中间法兰把接在升降平台上,气缸的缸杆垂直向上,缸杆上端与固定组件相连,固定组件通过向下的联轴节与电极杆上端相连。

3.根据权利要求1所述真空冷坩埚凝壳炉电极传动系统,其特征在于所述升降动力单元包括伺服电机,伺服电机通过转角减速机与升降平台前后两侧的竖向丝杠上端相连,丝杠下端旋过升降平台上的螺纹孔,伺服电机和转角减速机设置在门式框架上端。

4.根据权利要求1所述真空冷坩埚凝壳炉电极传动系统,其特征在于所述电极室升降机构包括分别设置在两侧支撑框上的两组升降机构,升降机构包括套筒、导柱、Z形托架、升降油缸、导向键;导柱固定在支撑框上,导柱侧壁开有竖向导向槽;与导向槽相对应的导向键焊接在套筒上,套筒上端与升降油缸把接在一起,套筒侧端与Z形托架上端连接,Z形托架下端与电极室侧壁相连。

5.根据权利要求1所述真空冷坩埚凝壳炉电极传动系统,其特征在于所述电极室上端设置有观察窗、摄像头和可将动密封座压在电极室上端口处的压块组件。

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