[发明专利]XPS进样装置

权利要求书

1.一种XPS进样装置，其特征在于，所述XPS进样装置(1)包括：用于承载待测样品的样品台(12)；开设有供所述样品台(12)进入的进口(100)、供所述样品台(12)离开的出口(101)和与抽真空装置相连通的抽气口(102)的密封腔室(10)；以及安装于所述密封腔室(10)且与所述样品台(12)相连接的传送机构(11)，所述传送机构(11)能够带动所述样品台(12)在所述密封腔室(10)内移动并能够将所述样品台(12)送出所述出口(101)，所述XPS进样装置还包括安装于所述密封腔室(10)的用于冷冻位于所述密封腔室(10)内的所述待测样品的冷冻机构(13)；

所述冷冻机构(13)包括插设于所述密封腔室(10)的壁的用于容纳冷却介质的密封容器(130)以及连接所述密封容器(130)和所述密封腔室(10)的内部空间的导热件(131)，所述传送机构(11)能够带动所述样品台(12)移动使得所述导热件(131)与所述样品台(12)接触；

所述密封容器(130)包括位于所述密封腔室(10)外且开设有将位于所述密封容器(130)的外部的冷却介质导入的注入口(1303)的第一密封壳(1300)以及与所述第一密封壳(1300)相连通的第一传送管(1305)，其中，所述第一传送管(1305)插设于所述密封腔室(10)的壁，所述导热件(131)连接于所述第一传送管(1305)。

2.根据权利要求1所述的XPS进样装置，其特征在于，所述密封腔室(10)的壁上开设有观察窗。

3.根据权利要求1所述的XPS进样装置，其特征在于，所述密封容器(130)包括套设于所述第一密封壳(1300)外且与所述第一密封壳(1300)的外壁之间形成有第一间隙(1302)的第二密封壳(1301)以及与所述第二密封壳(1301)相连通且套设于所述第一传送管(1305)外的第二传送管(1306)，其中，所述第二传送管(1306)与所述第一传送管(1305)之间形成有第二间隙(1307)，所述第二密封壳(1301)上开设有与抽气装置相连通的抽口(1304)。

4.根据权利要求1或3所述的XPS进样装置，其特征在于，所述传送机构(11)包括安装于所述密封腔室(10)的绝热机械臂(110)以及连接于所述绝热机械臂(110)且与所述样品台(12)相连接的机械手(111)。

5.根据权利要求4所述的XPS进样装置，其特征在于，所述样品台(12)包括用于承载所述待测样品的导热托盘(120)和设置于所述导热托盘(120)的底部的导热连接块(121)，其中，所述导热连接块(121)的侧壁上设置有沿平行于所述导热托盘(120)的方向延伸的第一插孔(122)，所述绝热机械臂(110)能够在水平方向上往复移动，所述机械手(111)包括能够围绕所述绝热机械臂(110)的中心轴线旋转的连接部(1112)和连接于所述连接部(1112)且能够插入所述第一插孔(122)的第一插杆(1110)。

6.根据权利要求5所述的XPS进样装置，其特征在于，所述导热连接块(121)的底壁上设置有凹槽(123)，所述机械手(111)包括在所述第一插杆(1110)插入所述第一插孔(122)后能够与所述凹槽(123)相卡合的弹片(1111)。

7.根据权利要求5所述的XPS进样装置，其特征在于，所述导热件(131)包括与所述第一传送管(1305)的端部相接触的连接盘(1310)以及垂直设置于所述连接盘(1310)的导热平台(1311)，所述导热平台(1311)上设置有供所述导热连接块(121)嵌入的凹陷部(1312)以使得所述导热平台(1311)与所述样品台(12)相接触。

8.根据权利要求7所述的XPS进样装置，其特征在于，所述导热平台(1311)与所述样品台(12)相接触的部分设置有铟片。

9.根据权利要求4所述的XPS进样装置，其特征在于，所述的XPS进样装置包括连通组件(14)，所述连通组件(14)包括设置于所述出口(101)处的波纹管(141)、连接于所述波纹管(141)且用于开闭所述波纹管(141)的插板阀(142)以及设置于所述插板阀(142)的一侧且与所述波纹管(141)相对的连通直管(140)，其中，所述连通直管(140)的内部设置有限位件(16)，所述限位件(16)上开设有供所述绝热机械臂(110)通过并防止所述绝热机械臂(110)偏离原行进路径的限位通道(160)。