[发明专利]XPS进样装置

说明书

本发明涉及XPS检测领域，公开了一种XPS进样装置，所述XPS进样装置(1)包括：用于承载待测样品的样品台(12)；开设有供所述样品台进入的进口(100)、供所述样品台离开的出口(101)和与抽真空装置相连通的抽气口(102)的密封腔室(10)；以及安装于所述密封腔室且与所述样品台相连接的传送机构(11)，所述传送机构能够带动所述样品台在所述密封腔室内移动并将所述样品台送出所述出口，所述XPS进样装置还包括安装于所述密封腔室的用于冷冻位于所述密封腔室内的所述待测样品的冷冻机构(13)。该XPS进样装置实现了对非常规物质进行较为可靠和准确的XPS检测。

技术领域

本发明涉及XPS检测领域，具体地涉及一种XPS进样装置。

背景技术

X射线光电子能谱分析(X-ray photoelectron spectroscopy,XPS)是利用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度(脉冲/s)为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得待测样品的信息。在进行XPS检测时，待测样品首先进入进样室，再进入制备室，之后再由制备室进入分析室进行检测。

XPS检测一般用于固体物质的表面分析，另外，由于XPS检测需要在超高真空环境中进行，因此通常要求待测样品被充分干燥，并且要求待测样品不易挥发也不含挥发性的溶剂以及不易潮解也不含结晶水等。由此，一般情况下，很难对一些非常规物质如有机小分子材料、金属有机配合物材料、生物材料、凝胶类材料和液体等进行XPS检测，此处非常规物质可以理解为在真空中不稳定，例如易于挥发等物质。如果使得这些非常规物质采用与常规物质相同的进样方式，既得不到可靠的检测数据又会对仪器造成一定的损害。

目前，对新材料的研制开发是材料科学领域研究的热点，研究对象涉及材料科学、生命科学、纳米科学、催化领域以及胶体领域等，在这些领域的研究中，通常会涉及到许多的固体物质，并且还会涉及到许多的非常规物质，因此需要通过XPS检测非常规物质的元素组成、价态以及结构等重要信息，从而为研究构效关系、材料的可控设计、细胞与探针分子的作用机理和生物体系的功能开发等提供重要依据。

发明内容

本发明的目的是为了克服现有技术存在的不能够对非常规物质进行XPS检测的问题，提供了一种XPS进样装置，该XPS进样装置能够在对待测样品进行检测前对所述待测样品冷冻从而实现了对非常规物质进行XPS检测，并且检测结果较为可靠和准确。

为了实现上述目的，本发明一方面提供一种XPS进样装置，所述XPS进样装置包括：用于承载待测样品的样品台；开设有供所述样品台进入的进口、供所述样品台离开的出口和与抽真空装置相连通的抽气口的密封腔室；以及安装于所述密封腔室且与所述样品台相连接的传送机构，所述传送机构能够带动所述样品台在所述密封腔室内移动并能够将所述样品台送出所述出口，所述XPS进样装置还包括安装于所述密封腔室的用于冷冻位于所述密封腔室内的所述待测样品的冷冻机构。

优选地，所述冷冻机构包括插设于所述密封腔室的壁的用于容纳冷却介质的密封容器以及连接所述密封容器和所述密封腔室的内部空间的导热件，所述传送机构能够带动所述样品台移动使得所述导热件与所述样品台接触；和/或所述密封腔室的壁上开设有观察窗。

优选地，所述密封容器包括位于所述密封腔室外且开设有将位于所述密封容器的外部的冷却介质导入的注入口的第一密封壳以及与所述第一密封壳相连通的第一传送管，其中，所述第一传送管插设于所述密封腔室的壁，所述导热件连接于所述第一传送管。

优选地，所述密封容器包括套设于所述第一密封壳外且与所述第一密封壳的外壁之间形成有第一间隙的第二密封壳以及与所述第二密封壳相连通且套设于所述第一传送管外的第二传送管，其中，所述第二传送管与所述第一传送管之间形成有第二间隙，所述第二密封壳上开设有与抽气装置相连通的抽口。