[发明专利]基板搬送卡夹及基板搬送方法

权利要求书

1.一种基板搬送卡夹，其特征在于，包括框架(10)、用于承载基板的承载组件(11)、第一阻挡件(12)和第二阻挡件(13)，所述承载组件(11)固定在所述框架(10)内，包括分别用于承载两片基板的第一区域(11A)和第二区域(11B)；在所述第一区域(11A)、所述第二区域(11B)朝向所述框架(10)的第一侧面旁各设有一排线性布置的所述第一阻挡件(12)，在所述第一区域(11A)、所述第二区域(11B)朝向所述框架(10)的第二侧面旁各设有一排线性布置的所述第二阻挡件(13)；所述第一侧面与所述第二侧面相邻设置，且所述承载组件(11)倾斜设置，使得所述承载组件(11)上由所述第一侧面和所述第二侧面所包围的角部相对于所述框架(10)的底面(10B)的距离小于所述承载组件(11)上的其它三个角部相对于所述底面(10B)的距离；位于所述第一区域(11A)和所述第二区域(11B)之间的所述第一阻挡件(12)与所述第二区域(11B)毗邻但与所述第一区域(11A)隔开一段距离。

2.根据权利要求1所述的基板搬送卡夹，其特征在于，所述第一阻挡件(12)、所述第二阻挡件(13)为树脂或橡胶。

3.根据权利要求1所述的基板搬送卡夹，其特征在于，所述承载组件(11)相对于所述底面(10B)的倾斜角度范围为5°±2°。

4.根据权利要求1所述的基板搬送卡夹，其特征在于，所述承载组件(11)包括多根交错设置的第一支撑杆(111)和第二支撑杆(112)，所述第一阻挡件(12)和所述第二阻挡件(13)分别连接所述第一支撑杆(111)和所述第二支撑杆(112)。

5.根据权利要求4所述的基板搬送卡夹，其特征在于，所述承载组件(11)还包括多个滚珠顶针(110)，所述滚珠顶针(110)嵌设于所述第一支撑杆(111)和所述第二支撑杆(112)内，且所述滚珠顶针(110)的滚珠部分凸出于所述第一支撑杆(111)或所述第二支撑杆(112)。

6.根据权利要求1-5任一所述的基板搬送卡夹，其特征在于，所述承载组件(11)为多层，多层所述承载组件(11)在所述框架(10)的高度方向上间隔设置。

7.根据权利要求6所述的基板搬送卡夹，其特征在于，所有的所述承载组件(11)相互平行。

8.根据权利要求7所述的基板搬送卡夹，其特征在于，还包括分别用于承载所述底面(10B)的四个角部的两个固定底座(T0)和两个升降底座(T1)，两个所述固定底座(T0)对角布置且高度固定，两个所述升降底座(T1)对角布置且高度可调，其中，所述承载组件(11)上由所述第一侧面和所述第二侧面所包围的角部下方所对应的所述底面(10B)的角部下方设置有所述升降底座(T1)。

9.一种基板搬送方法，其特征在于，使用权利要求1-8任一所述的基板搬送卡夹，包括：

将两片尺寸相同的基板分别放置在所述承载组件(11)上位于所述第一区域(11A)和所述第二区域(11B)之间的一排所述第一阻挡件(12)的两侧；

运输所述基板搬送卡夹；

调节所述框架(10)的各个角的高度，使得所述承载组件(11)水平；

同时传送两片分别位于所述第一区域(11A)和所述第二区域(11B)的基板。