[发明专利]掩膜装置在审
| 申请号： | 201711006867.8 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107808936A | 公开（公告）日： | 2018-03-16 |
| 发明（设计）人： | 苏君海;龚建国;吴俊雄;冉应刚;柯贤军;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56;C23C14/04;C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 叶剑 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
1.一种掩膜装置，其特征在于，包括掩膜板和遮挡件；
所述掩膜板上均匀开设有若干通孔；
所述遮挡件抵接于所述掩膜板，所述遮挡件开设有通口，所述通口的形状为不规则形状，所述通口对齐于所述掩膜板上的部分所述通孔，且所述通口与对齐的各所述通孔连通，所述遮挡件挡设于所述掩膜板上的剩余部分所述通孔。
2.根据权利要求1所述的掩膜装置，其特征在于，所述掩膜板包括预留区和有效蒸镀区，所述预留区设置于所述有效蒸镀区的外侧，所述通口的形状与所述有效蒸镀区的形状匹配，且所述通口对齐于所述有效蒸镀区；
各所述通孔包括若干第一通孔和若干第二通孔，各所述第一通孔均匀开设于所述有效蒸镀区，各所述第二通孔均匀开设于所述预留区；
所述通口与各所述第一通孔连通，且所述遮挡件挡设于各所述第二通孔。
3.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述遮挡件的形状与所述预留区的形状匹配，且所述遮挡件对齐于所述预留区。
4.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述第二通孔的形状与所述第一通孔的形状相同。
5.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述第二通孔的尺寸与所述第一通孔的尺寸相等。
6.根据权利要求2所述的掩膜装置，其特征在于，所述第二通孔之间的间距与所述第一通孔之间的间距相等。
7.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔分别具有圆形截面，且所述第一通孔的孔径和所述第二通孔的孔径相等。
8.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔分别具有方形截面，且所述第一通孔的宽度和所述第二通孔的宽度相等。
9.根据权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第一通孔和所述第二通孔分别具有多边形截面，且所述第一通孔的宽度和所述第二通孔的宽度相等。
10.根据权利要求1至9任一项中所述的掩膜装置，其特征在于，所述遮挡件为遮挡膜。
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