[发明专利]深度摄像器件及制造方法、显示面板及制造方法、装置有效
申请号: | 201711013369.6 | 申请日: | 2017-10-26 |
公开(公告)号: | CN107742631B | 公开(公告)日: | 2020-02-14 |
发明(设计)人: | 王鹏鹏;王海生;丁小梁;郑智仁;韩艳玲;李扬冰;曹学友;刘伟;张平 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146 |
代理公司: | 11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 郭栋梁 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 深度 摄像 器件 制造 方法 显示 面板 装置 | ||
1.一种深度摄像器件制造方法,其特征在于,包括:
在基板上形成深度摄像头的接收单元的红外光敏器件;
在所述基板上的第一像素定义层上形成所述深度摄像头的衍射单元的红外发光器件;
在所述红外光敏器件和所述红外发光器件上形成封装层,并在所述封装层上形成第一光敏胶层;
在所述第一光敏胶层上形成所述衍射单元的准直器件,所述准直器件和所述红外发光器件在所述基板上的正投影部分重叠;
在所述准直器件上形成绝缘层,并在所述绝缘层上形成第二光敏胶层;
在所述第二光敏胶层上形成所述衍射单元的衍射光学器件,所述衍射光学器件和所述准直器件在所述基板上的正投影重叠。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,还包括:
在所述第二光敏胶层上形成所述接收单元的聚光器件,所述聚光器件和所述红外光敏器件在所述基板上的正投影部分重叠。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述在所述准直器件上形成绝缘层,并在所述绝缘层上形成第二光敏胶层包括:
在所述准直器件上形成第一阻水层;
在所述第一阻水层上形成平坦层;
在所述平坦层上形成第二阻水层;以及,
在所述第二阻水层上形成第二光敏胶层。
4.根据权利要求1-3任一项所述的方法,其特征在于,所述准直器件的表面为一种具有相位波带的衍射结构,所述准直器件垂直于所述基板的截面为阶梯形状,平行于所述基板的截面为不规则形状;
所述衍射光学器件的表面具有对应于所述相位波带的相位分布,所述衍射光学器件垂直于所述基板的截面为阶梯形状,平行于所述基板的截面为不规则形状。
5.一种显示面板制造方法,其特征在于,包括如权利要求1-4任一项所述的深度摄像器件制造方法,还包括:
形成所述红外发光器件的同时在所述基板上的与第一像素定义层同层形成的第二像素定义层上形成显示单元的发光器件。
6.一种深度摄像器件,其特征在于,基板上设有深度摄像头,所述深度摄像头包括一个接收单元和若干衍射单元;
所述接收单元包括:
红外光敏器件,位于所述基板上;
所述衍射单元包括:
红外发光器件,位于所述基板上的第一像素定义层上;
准直器件,位于第一光敏胶层上;所述第一光敏胶层位于封装层上,所述封装层位于所述红外光敏器件和所述红外发光器件上,所述准直器件和所述红外发光器件在所述基板上的正投影部分重叠;
衍射光学器件,位于第二光敏胶层上;所述第二光敏胶层位于绝缘层上,所述绝缘层位于所述准直器件上,所述衍射光学器件和所述准直器件在所述基板上的正投影重叠。
7.根据权利要求6所述的深度摄像器件,其特征在于,所述接收单元还包括:
聚光器件,位于所述第二光敏胶层上,所述聚光器件和所述红外光敏器件在所述基板上的正投影部分重叠。
8.根据权利要求6所述的深度摄像器件,其特征在于,所述准直器件的表面为一种具有相位波带的衍射结构,所述准直器件垂直于所述基板的截面为阶梯形状,平行于所述基板的截面为不规则形状;
所述衍射光学器件的表面具有对应于所述相位波带的相位分布,所述衍射光学器件垂直于所述基板的截面为阶梯形状,平行于所述基板的截面为不规则形状。
9.一种显示面板,其特征在于,包括如权利要求6-8任一项所述的深度摄像器件,所述基板上还设有显示单元,所述深度摄像器件位于所述显示单元的周边区域。
10.一种装置,其特征在于,包括如权利要求6-8任一项所述的深度摄像器件,或,如权利要求9所述的显示面板。
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