[发明专利]单位掩膜、其制造方法及包括其的掩膜组件

说明书

本发明提供了一种单位掩膜、其制造方法及包括其的掩膜组件。单位掩膜包括：掩膜体，沿长度方向和宽度方向延伸，并且在掩膜体上形成有掩膜图案；以及夹紧部，沿掩膜体的长度方向从掩膜体的端部延伸出，其中，在夹紧部上形成有防滑图案。该单位掩膜能够提高使用夹具夹持并拉伸单位掩膜时的张网精度。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种单位掩膜、其制造方法及包括其的掩膜组件。

背景技术

在诸如液晶显示装置(LCD)和有机发光显示装置(OLED)的制造过程中，通常使用利用诸如精细金属掩膜板(FMM)的掩膜组件的蒸镀法来形成有特定图案的有机层或金属层。

掩膜组件通常包括多个单位掩膜(即，掩膜条)和支撑多个单位掩膜的掩膜框架。

使用夹具(张紧器)夹持单位掩膜并向外拉伸，达到预定参数后，将单位掩膜通过例如焊接固定到掩膜框架上，从而形成掩膜组件。这一过程通常被称为张网。

为了精确地布置单位掩膜而防止蒸镀不良，需要提高张网精度。

发明内容

本发明提供了一种单位掩膜、其制造方法以及包括其的掩膜组件，能够提高在使用夹具夹持并拉伸单位掩膜来制造掩膜组件时的张网精度。

根据本发明的一方面，提供了一种单位掩膜，包括：掩膜体，沿长度方向和宽度方向延伸，并且在掩膜体上形成有掩膜图案；以及夹紧部，沿掩膜体的长度方向从掩膜体的端部延伸出，其中，在夹紧部上形成有防滑图案。

根据本发明的实施例，防滑图案可以包括形成在夹紧部上的多个突起。

根据本发明的实施例，多个突起可以通过刻蚀工艺形成。

根据本发明的实施例，沿着垂直于夹紧部的表面的方向观看，突起可以包括条形、圆形、四边形和＜形中的至少一种形状。

根据本发明的实施例，突起的上端与掩膜体的表面可以位于同一平面上。

根据本发明的实施例，夹紧部包括彼此相对的第一侧和第二侧，防滑图案可以形成在第一侧和第二侧中的至少一侧上。

根据本发明的实施例，掩膜体的一个端部延伸出的夹紧部可以包括成对的延伸部分，成对的延伸部分在掩膜体的宽度方向上彼此分隔开。

根据本发明的实施例，防滑图案可以形成在延伸部分上。

根据本发明的实施例，单位掩膜还可以包括：位于掩膜体与夹紧部之间的连接部，其中，连接部用于固定到掩膜组件的框架上。

根据本发明的实施例，掩膜体和夹紧部可以一体地形成。

根据本发明的实施例，单位掩膜可以为带状。

根据本发明的另一方面，提供了一种制造上述单位掩膜的方法，包括：提供单位掩膜的前体板，前体板包括与掩膜体对应的第一区域和与夹紧部对应的第二区域；在第一区域上形成掩膜图案；以及在第二区域上形成防滑图案。

根据本发明的又一方面，提供了一种掩膜组件，包括：掩膜框架，形成有开口部；多个前述单位掩膜，固定于掩膜框架上以使单位掩膜的掩膜图案形成在开口部上。

在本发明中，在单位掩膜的用于被夹具夹持以进行张网操作的夹紧部上形成有防滑图案，因此在夹具对单位掩膜施加拉力以进行张网操作时，可以增大夹具与单位掩膜之间的摩擦力而防止夹具与单位掩膜之间的相对滑动，从而可以提高张网精度。

附图说明

包括附图以提供对本发明的进一步理解，附图并入本申请并组成本申请的一部分，附图示出了本发明的实施例，并与描述一起用于解释本发明的原理。在附图中：

图1是示出根据本发明的示例性实施例的单位掩膜的示意图；