[发明专利]一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法有效
| 申请号： | 201711021940.9 | 申请日： | 2017-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN107597687B | 公开（公告）日： | 2020-04-14 |
| 发明（设计）人： | 徐国军;毛地雅;刘俊林;陈思 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B9/032;F26B21/00 |
| 代理公司： | 深圳汇智容达专利商标事务所(普通合伙) 44238 | 代理人： | 潘中毅;熊贤卿 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 湿法 蚀刻 清洗 装置 方法 | ||
1.一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置，其特征在于，包括：
压缩干燥空气管路，连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上，用于供应压缩干燥空气，所述压缩干燥空气与所述水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路及水刀进行清洗；
设置在所述压缩干燥空气管路上的自动阀，用于在湿法蚀刻机进入空闲状态时自动开启以使所述压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路中，并在湿法蚀刻机进入工作状态时自动关闭以断开所述压缩干燥空气的供应。
2.根据权利要求1所述的水刀清洗装置，其特征在于，所述压缩干燥空气管路具体是连接在循环水过滤器与水刀之间的水刀供给管路上。
3.根据权利要求1所述的水刀清洗装置，其特征在于，还包括设置在所述自动阀之前的压缩干燥空气过滤器，用于对供应到所述压缩干燥空气管路的压缩干燥空气进行过滤。
4.根据权利要求1所述的水刀清洗装置，其特征在于，所述压缩干燥空气管路连接在为第一个水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上。
5.根据权利要求1-4任一项所述的水刀清洗装置，其特征在于，水洗喷淋单元至少有3个。
6.一种湿法蚀刻机的水刀清洗方法，包括：
设置压缩干燥空气管路，将其连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上；
在所述压缩干燥空气管路上设置自动阀；
在湿法蚀刻机进入空闲状态时开启所述自动阀，使压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路中，与所述水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路及水刀进行清洗；
在湿法蚀刻机进入工作状态时关闭所述自动阀，断开所述压缩干燥空气的供应。
7.根据权利要求6所述的水刀清洗方法，其特征在于，所述压缩干燥空气管路具体是连接在循环水过滤器与水刀之间的水刀供给管路上。
8.根据权利要求6所述的水刀清洗方法，其特征在于，还包括：
在所述自动阀之前设置用于对供应到所述压缩干燥空气管路的压缩干燥空气进行过滤的压缩干燥空气过滤器。
9.根据权利要求6所述的水刀清洗方法，其特征在于，将所述压缩干燥空气管路连接在为第一个水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上。
10.根据权利要求6-9任一项所述的水刀清洗方法，其特征在于，水洗喷淋单元至少有3个。
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