[发明专利]一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法

说明书

本发明提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法，其中，水刀清洗装置包括：压缩干燥空气管路，连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上，用于供应压缩干燥空气，压缩干燥空气与水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对水刀供给管路及水刀进行清洗；设置在压缩干燥空气管路上的自动阀，用于在湿法剥离机进入空闲状态时自动开启以使压缩干燥空气输送至水刀供给管路中，并在湿法剥离机进入工作状态时自动关闭以断开压缩干燥空气的供应。本发明使得循环水过滤器至刀口的整段水刀供给管路连接处、缝隙处皆可得到充分清洗，进一步降低了水刀分叉的可能性，可基本避免因此带来的工艺异常，具有较好的经济效益。

技术领域

本发明涉及屏幕显示技术领域，尤其涉及一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法。

背景技术

在TFT-LCD Array段工艺中，需要在湿法蚀刻机（剥离机）水洗区间对基板玻璃（Glass）进行清洗。如图1所示，水洗区间1΄包括多个水洗喷淋（Shower，SWR）单元（SWR#1~SWR#5），基板玻璃2΄在其中传送，在湿法剥离机正常工作状态下，用于清洗的去离子水（DIW）从SWR#5依次循环使用至SWR#1后排往去离子水排放管路（DIW Drain），其间通过为每一水洗喷淋单元配备的循环水水泵3΄打起循环水，由水洗喷淋单元内的喷嘴11΄进行喷淋，以对处于水洗喷淋单元内的基板玻璃2΄进行清洗。湿法剥离机使用循环水时采用循环水容器4΄对循环水进行储存。

湿法蚀刻机第一个水洗喷淋单元SWR#1内的水刀10΄经常出现因异物堵塞而导致的分叉情况，当水刀10΄出现分叉后导致局部过蚀刻，因局部清洗不净导致后段检测出Mura或者膜层脱落。前述的工艺异常均会引起良率Loss，改善第一个水洗区间水刀分叉问题具有一定价值及实际意义。

为解决第一个水洗喷淋单元的水刀分叉问题，业界一般采用以下解决方案：

（1）对第一个水洗喷淋单元的水刀直接使用直水供给，以更干净的水来减少异物堵塞的可能性；

（2）对第一个水洗喷淋单元的水刀采用定时手动刮拭处理，直接清洁异物。

业内目前将以上两种方案搭配使用情况较多，但是用水量及设备稼动率、水刀本体均有一定损失。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于，提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置及方法，以改善水刀堵塞问题，降低水刀分叉可能性，提升产品良率。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗装置，包括：

压缩干燥空气管路，连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上，用于供应压缩干燥空气，所述压缩干燥空气与所述水刀供给管路中的去离子水形成二流体，对所述水刀供给管路及水刀进行清洗；

设置在所述压缩干燥空气管路上的自动阀，用于在湿法剥离机进入空闲状态时自动开启以使所述压缩干燥空气输送至所述水刀供给管路中，并在湿法剥离机进入工作状态时自动关闭以断开所述压缩干燥空气的供应。

其中，所述压缩干燥空气管路具体是连接在循环水过滤器与水刀之间的水刀供给管路上。

其中，还包括设置在所述自动阀之前的压缩干燥空气过滤器，用于对供应到所述压缩干燥空气管路的压缩干燥空气进行过滤。

其中，所述压缩干燥空气管路连接在为第一个水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上。

其中，水洗喷淋单元至少有3个。

本发明还提供一种湿法蚀刻机的水刀清洗方法，包括：

设置压缩干燥空气管路，将其连接在为水洗喷淋单元内的水刀供应去离子水的水刀供给管路上；

在所述压缩干燥空气管路上设置自动阀；