[发明专利]半导体装置及其工作方法在审
申请号: | 201711025955.2 | 申请日: | 2017-10-27 |
公开(公告)号: | CN108109657A | 公开(公告)日: | 2018-06-01 |
发明(设计)人: | 梅泽裕介 | 申请(专利权)人: | 东芝存储器株式会社 |
主分类号: | G11C16/08 | 分类号: | G11C16/08;G11C16/24 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 刘英华 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 存储单元 栅电极 沟道 位线 半导体装置 电连接 字线 阈值电压偏移 工作稳定性 方法实施 数据删除 | ||
1.一种半导体装置,具备:
第1存储单元;
第2存储单元;
第1字线,与上述第1存储单元的第1栅电极以及上述第2存储单元的第2栅电极连接;
第1位线,与上述第1存储单元的沟道的一端电连接;
第2位线,与上述第2存储单元的沟道的一端电连接;
源极线,与上述第1存储单元以及上述第2存储单元的沟道的各自的另一端电连接;
行控制电路,向上述第1字线供给电压;以及
列控制电路,向上述第1位线、上述第2位线、及上述源极线供给电压,
在将上述第1存储单元以及上述第2存储单元的数据删除后,
使上述第1栅电极与上述第1存储单元的沟道之间的第1电压,不同于上述第2栅电极与上述第2存储单元的沟道之间的第2电压,并且使上述第1存储单元以及上述第2存储单元的阈值电压偏移。
2.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,
上述阈值电压在删除状态的阈值电压范围内偏移。
3.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,
上述第1存储单元包含形成于上述第1字线、沿第1方向延伸并包含上述第1存储单元的电流通路的第1柱状部,
上述第2存储单元包含形成于上述第1字线、沿上述第1方向延伸并包含上述第2存储单元的电流通路的第2柱状部,
上述第1存储单元的包含与上述第1方向交叉的第2方向的面上的截面的面积,比上述第2存储单元的包含上述第2方向的面上的截面的面积小,
上述第1电压具有比上述第2电压低的值。
4.根据权利要求1或2所述的半导体装置,其中,
还具备:
第3存储单元,将沟道以串联的方式连接于上述第1存储单元,并层叠地形成于上述第1存储单元;以及
第2字线,与上述第3存储单元的第3栅电极电连接,
在将上述第1存储单元~第3存储单元的数据删除之后,
使上述第3栅电极与上述第3存储单元的沟道之间的第3电压与上述第1电压不同,使上述第3存储单元的阈值电压偏移。
5.根据权利要求4所述的半导体装置,其中,
在上述第3存储单元层叠于上述第1存储单元的上层的情况下,
上述第3电压具有比上述第1电压高的值。
6.根据权利要求1所述的半导体装置,其中,
还具备:
第4存储单元,具有与上述第1字线连接的第4栅电极;
第5存储单元,具有与上述第1字线连接的第5栅电极;
第3位线,与上述第4存储单元的沟道的一端电连接;以及
第4位线,与上述第5存储单元的沟道的一端电连接,
将上述第1存储单元、第2存储单元、第4存储单元以及第5存储单元的数据删除之后,
使上述第4栅电极与上述第4存储单元的沟道之间的第4电压、以及上述第5栅电极与上述第5存储单元的沟道之间的第5电压中的至少一个电压与上述第1电压不同,使上述第4存储单元以及第5存储单元的阈值电压偏移。
7.根据权利要求6所述的半导体装置,其中,
基于上述第1存储单元、第2存储单元、第4存储单元以及第5存储单元的写入速度以及删除速度,设定上述第1电压、第2电压、第4电压以及第5电压的值。
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