[发明专利]一种LED生产用外延片清洗装置及清洗工艺有效
申请号: | 201711035237.3 | 申请日: | 2017-10-30 |
公开(公告)号: | CN107871697B | 公开(公告)日: | 2020-04-14 |
发明(设计)人: | 桑永树;李运鹤;刘军;叶冰 | 申请(专利权)人: | 安徽世林照明股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/02;B08B3/02;B08B1/00 |
代理公司: | 六安众信知识产权代理事务所(普通合伙) 34123 | 代理人: | 熊伟 |
地址: | 237200 *** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 led 生产 外延 清洗 装置 工艺 | ||
本发明公开了一种LED生产用外延片清洗装置,包括支架,所述支架上位于两侧处固定有安装架,所述安装架上通过弹簧连接有多组外延片夹紧机构,所述所述夹紧机构之间设有由气缸驱动的可沿支架上的滑槽滑动的洗刷机构,所述洗刷机构的正上方设有冲洗机构。本发明使用时将外延片放在夹紧机构上夹紧,打开冲洗机构和洗刷机构,对外延片进行清洗,清洗完成后再将外延片取出。本发明使用方便,清洗效率高,清洗效果好,同时可以保护人手不被伤害。
技术领域
本发明涉及一种LED生产用外延片清洗装置及清洗工艺,属于LED技术领域。
背景技术
发光二极管灯具,亦称LED灯具,是指能透光、分配和改变LED光源光分布的器具,包括除LED光源外所有用于固定和保护LED光源所需的全部零、部件,以及与电源连接所必需的线路附件。发光二极管灯具以其高效、节能、安全、长寿、小巧、清晰光线等技术特点,正在成为新一代照明市场的主力产品,且有力地拉动环保节能产业的高速发展。LED的心脏是一个半导体的晶片,半导体的晶片也叫外延片,外延片是由加工完成的单晶硅棒切割而成,初步加工完成后的外延片表面易残留污染物,外延片表面留有污染物会降低LED灯具的质量,从而会降低LED灯具的成品量,因此需要对外延片进行清洗,目前,一般是人工用清洗溶液对外延片进行清洗,人工清洗的方式,费时费力、清洗效率较低,且人工清洗手需要长时间的浸泡在清洗溶液内,从而会影响工人的身体健康。为此,我们提出一种LED生产用外延片清洗装置及清洗工艺。
发明内容
本发明的主要目的在于提供一种LED生产用外延片清洗装置及清洗工艺,清洗效率高,清洗效果好,同时可以保护人手不被伤害,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本发明采取的技术方案为:
一种LED生产用外延片清洗装置,包括支架,所述支架上位于两侧处固定有安装架,所述安装架上通过弹簧连接有多组外延片夹紧机构,所述所述夹紧机构之间设有由气缸驱动的可沿支架上的滑槽滑动的洗刷机构,所述洗刷机构的正上方设有冲洗机构。
进一步的,所述外延片夹紧机构包括两个相对设置的与弹簧相连的夹板,所述夹板的内侧粘合有泡沫层,所述泡沫层上开设有凹槽。
进一步的,所述洗刷机构包括多组位于外延片上下方的清洗刷,所述清洗刷,多组所述清洗刷通过连接架连接,所述连接架的底部设有与连接架一体成型的滑杆,所述滑杆通过气缸驱动在滑槽内前后移动。
进一步的,所述清洗刷包括刷柄,所述刷柄上安装有海绵刷。
进一步的,所述冲洗机构包括供水箱,所述供水箱上连接有多组导水管,所述导水管上连接有高压喷头。
进一步的,所述支架上位于洗刷机构的正下方设有储水池,所述储水池的底部设有与供水箱相连的导水管,所述导水管上设有高压水泵。
进一步的,所述储水池内水平设有过滤层。
进一步的,所述过滤层包括细沙层,所述细沙层的下方设有吸附层,所述吸附层的下方设有滤膜。
进一步的,所述吸附层由若干球状吸附球组成,所述球状吸附球为多孔的球状活性炭。
本发明还提供一种LED生产用外延片清洗工艺,包括如下步骤:
a)将需要倾心的外延片放在夹紧机构上夹紧;
b)先向供水箱内添加清洗剂,再向供水箱内添加清水;
c)打开高压喷头,同时启动气缸,气缸驱动洗刷机构在支架上前后运动,清洗刷与外延片的上下两面发生摩擦进行清洗;
d)清洗完成后关闭高压喷头和气缸,取下外延片后再进行下一批外延片的清洗。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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