[发明专利]一种智能嗅觉气味阵列传感器及制作方法

权利要求书

1.一种智能嗅觉气味阵列传感器，其组成包括：芯片（1），其特征是：所述的芯片（1）上表面设置有电绝缘层（3），所述的电绝缘层（3）内设置有加热器（2）和测温器（6），所述的测温器（6）设置在加热器（2）之间，所述的电绝缘层（3）上表面设置有不同类型的气味传感器膜层（5），不同类型所述的气味传感器膜层（5）成阵列布置，所述的气味传感器膜层（5）里嵌入不同类型气味传感器（7），所述的不同类型气味传感器（7）上设置有传感器电极（4），所述的电绝缘层（3）上表面两侧设置有数个电极引线柱（8）。

2.根据权利要求1所述的智能嗅觉气味阵列传感器，其特征是：数个所述的电极引线柱（8）用于支撑芯片（1）兼充导电引线。

3.根据权利要求1或2所述的智能嗅觉气味阵列传感器的制作方法，其特征是：

第一：利用微电子平面技术光刻，扩散，蒸发技术基片上制造加热器，测温器电极；

第二：在上述电极上覆盖电绝缘层 ；

第三：在电电绝缘层上制造各种类型传感器的电极引线；

第五：在上述各种类型传感器的电极引线上的限定区域，分别制造不同类型的气味传感器薄膜；

第六：对各种类型气味传感器膜层进行纳米化，使其颗粒具有最高的表面积/体积比。