[发明专利]搬运车

权利要求书

1.一种搬运车，该搬运车将搬运对象物搬运至设置于下方的载置场所，具备：

支承部，其支承前述搬运对象物；

升降部，其使前述搬运对象物在吊挂状态下升降；以及

重量检测部，其检测前述搬运对象物的重量，前述搬运车的特征在于，

前述搬运对象物具有被支承部，所述被支承部形成有用于被所述搬运车支承的朝向下方的被支承面，

所述支承部具有支承板部，

所述支承板部中的朝向上方的面上形成有从下方支承前述搬运对象物的前述被支承面的支承面，

前述重量检测部设置于前述支承面，

前述重量检测部通过变为由前述支承面和前述被支承面从上下方向夹持的状态而将前述支承面与前述被支承面相互沿上下方向压迫的载荷检测为前述搬运对象物的重量，

在借助前述支承部支承前述搬运对象物的状态下的借助前述升降部进行的前述搬运对象物的下降中，在借助前述重量检测部检测的检测值变为第一设定值以下后，前述搬运车使前述搬运对象物的下降速度增加，

此后，在解除借助前述升降部形成的前述搬运对象物的吊挂状态后，解除借助前述支承部进行的前述搬运对象物的支承，

在将前述搬运对象物载置于前述载置场所的过程中，执行第一下降处理和第二下降处理，前述第一下降处理是基于前述搬运对象物的下降量进行下降速度控制的处理，前述第二下降处理是在前述第一下降处理结束的同时开始的处理，是基于前述搬运对象物的重量变化进行下降速度控制的处理。

2.如权利要求1所述的搬运车，其特征在于，

以下述至少一方为条件，判定借助前述升降部形成的前述搬运对象物的吊挂状态被解除：借助前述重量检测部检测的检测值变为比前述第一设定值小的第二设定值以下；以及使前述搬运对象物下降与从前述搬运车至前述载置场所的高度对应的设定量。

3.如权利要求1或2所述的搬运车，其特征在于，

前述升降部能够进行使前述搬运对象物等速地下降的等速下降，

在前述搬运对象物的等速下降中进行借助前述重量检测部检测的检测值是否变为前述第一设定值以下的判定。

4.如权利要求1或2所述的搬运车，其特征在于，

前述第一设定值相对于前述搬运对象物的基准重量成比例设定，该比例大于0且小于1，

前述基准重量是在前述搬运对象物的静止状态下借助前述重量检测部检测出的检测值。

5.如权利要求1或2所述的搬运车，其特征在于，

前述搬运对象物包括半导体基板和收纳前述半导体基板的容器，

借助前述重量检测部至少检测收纳于前述容器的前述半导体基板的有无，

在借助前述重量检测部检测出前述半导体基板的情况下，与没有检测出前述半导体基板的情况相比，减缓借助前述升降部形成的前述搬运对象物的升降速度。

6.如权利要求1或2所述的搬运车，其特征在于，

前述搬运车具备行进部，该行进部在沿顶棚面设置的搬运路径中行进，

前述搬运对象物包括半导体基板和收纳前述半导体基板的容器，

借助前述重量检测部至少检测收纳于前述容器的前述半导体基板的有无，

在借助前述重量检测部检测出前述半导体基板的情况下，与没有检测出前述半导体基板的情况相比，减缓借助前述行进部形成的前述搬运对象物的行进速度。