[发明专利]一种类单晶籽晶的铺设装置及设备

权利要求书

1.一种类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，包括控制器、升降支架、真空吸盘、气泵及输气管道；所述控制器的控制端分别与所述气泵的驱动端和所述升降支架的驱动端连接，所述气泵的输出端与所述输气管道的输入端连接，所述输气管道的输出端与所述真空吸盘的通气口连接；所述真空吸盘的通气口端与所述升降支架的移动端连接；所述真空吸盘的底部具有多个吸盘区域，每个所述吸盘区域对应一个籽晶，每个所述吸盘区域至少设有一个吸盘孔；所述控制器用于控制所述升降支架带动所述真空吸盘进行上升或下降运动，以便所述真空吸盘将预先铺设的籽晶阵列移送至坩埚底部，所述籽晶阵列为多个籽晶无缝铺设而成。

2.根据权利要求1所述的类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，所述气泵为电动气泵。

3.根据权利要求1所述的类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，还包括可移动的搬运车，所述控制器、所述气泵及所述升降支架均设置于所述搬运车上。

4.根据权利要求3所述的类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，所述搬运车中还设置有配重物。

5.根据权利要求3所述的类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，还包括吸盘支架，所述真空吸盘的通气口端通过所述吸盘支架与所述升降支架的移动端连接。

6.根据权利要求5所述的类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，所述输气管道设置于所述吸盘支架的内部。

7.根据权利要求1-6任意一项所述的类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，所述每个所述吸盘区域至少设有一个吸盘孔具体为：

每个所述吸盘区域设有4个吸盘孔。

8.根据权利要求7所述的类单晶籽晶的铺设装置，其特征在于，每个所述吸盘孔分别设置于相应吸盘区域的四角处。

9.一种类单晶籽晶的铺设设备，其特征在于，包括用于放置坩埚的平板车和如权利要求1至8任意一项所述的类单晶籽晶块的铺设装置。