[发明专利]一种类单晶籽晶的铺设装置及设备

说明书

技术领域

本发明实施例涉及类单晶技术领域，特别是涉及一种类单晶籽晶的铺设装置及设备。

背景技术

随着科技的发展类单晶技术在多晶铸锭行业的应用越来越广泛，在类单晶技术中籽晶的铺设是一个重要环节。为了避免晶体生长时相邻两块籽晶之间出现多晶，在籽晶铺设时需要使籽晶与籽晶之间实现无缝化和平整化，尽量避免籽晶的磕碰导致边角崩裂，尽量减少籽晶块在坩埚底部进行挪移摩擦时导致的氮化硅粉涂层的脱落。

目前，现有的类单晶技术中的籽晶铺设方案均是人工手动的将籽晶一块一块的依次铺设在坩埚底部，在将籽晶放置在坩埚面时，因坩埚高度和宽度都较大，使人工放置籽晶时的劳动强度较大，从而增加了籽晶边角的碰撞几率，并且人工手动铺设时，使放置在坩埚底部的籽晶和与其相邻的籽晶之间缝隙较大，需要对籽晶进行挪移直到和相邻的籽晶紧挨，但是在移动过程中籽晶和坩埚底面接触摩擦容易损伤坩埚底面的氮化硅层，并且在移动籽晶的过程中会使两块籽晶之间形成氮化硅粉的堆积，从而导致两块籽晶之间存在一定的缝隙，难以实现无缝化。

因此，如何提供一种解决上述技术问题的类单晶籽晶的铺设装置及设备成为本领域技术人员目前需要解决的问题。

发明内容

本发明实施例的目的是提供一种类单晶籽晶的铺设装置及设备，在铺设籽晶的过程中降低了籽晶边角的碰撞几率，更好的实现了无缝化，并且降低了操作人员的劳动强度，铺设质量和工作效率大大提高。

为解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种类单晶籽晶的铺设装置，包括控制器、升降支架、真空吸盘、气泵及输气管道；所述控制器的控制端分别与所述气泵的驱动端和所述升降支架的驱动端连接，所述气泵的输出端与所述输气管道的输入端连接，所述输气管道的输出端与所述真空吸盘的通气口连接；所述真空吸盘的通气口端与所述升降支架的移动端连接；所述真空吸盘的底部具有多个吸盘区域，每个所述吸盘区域对应一个籽晶，每个所述吸盘区域至少设有一个吸盘孔；所述控制器用于控制所述升降支架带动所述真空吸盘进行上升或下降运动，以便所述真空吸盘将预先铺设的籽晶阵列移送至坩埚底部，所述籽晶阵列为多个籽晶无缝铺设而成。

可选的，所述气泵为电动气泵。

可选的，还包括可移动的搬运车，所述控制器、所述气泵及所述升降支架均设置于所述搬运车上。

可选的，所述搬运车中还设置有配重物。

可选的，还包括吸盘支架，所述真空吸盘的通气口端通过所述吸盘支架与所述升降支架的移动端连接。

可选的，所述输气管道设置于所述吸盘支架的内部。

可选的，如上述所述的类单晶籽晶的铺设装置，所述每个所述吸盘区域至少设有一个吸盘孔具体为：

每个所述吸盘区域设有4个吸盘孔。

可选的，每个所述吸盘孔分别设置于相应吸盘区域的四角处。

本发明实施例还提供了一种类单晶籽晶的铺设设备，包括用于放置坩埚的平板车和如上述所述的类单晶籽晶块的铺设装置。

本发明实施例提供了一种类单晶籽晶的铺设装置及系统，包括控制器、升降支架、真空吸盘、气泵及输气管道；控制器的控制端分别与气泵的驱动端和升降支架的驱动端连接，气泵的输出端与输气管道的输入端连接，输气管道的输出端与真空吸盘的通气口连接；真空吸盘的通气口端与升降支架的移动端连接；真空吸盘的底部具有多个吸盘区域，每个吸盘区域对应一个籽晶，每个吸盘区域至少设有一个吸盘孔；控制器用于控制升降支架带动真空吸盘进行上升或下降运动，以便真空吸盘将预先铺设的籽晶阵列移送至坩埚底部，籽晶阵列为多个籽晶无缝铺设而成。

本申请可以预先在坩埚外部将各个籽晶进行无缝铺设形成一个籽晶阵列,再通过控制器控制气泵通过输气管道为真空吸盘进行吸气以便真空吸盘将整个籽晶阵列吸起，并通过控制器控制升降支架进行上升和下降的运动，将真空吸盘移送至坩埚底部，并令控制器控制气泵为真空吸盘进行放气，以便真空吸盘将籽晶阵列放置在坩埚底面，以实现籽晶在坩埚底部的铺设，其中，真空吸盘的每个吸盘区域对应一个籽晶，从而可以实现对籽晶阵列中的多个籽晶的整体移动。本发明实施例在铺设籽晶的过程中降低了籽晶边角的碰撞几率，铺设质量和工作效率较高，并且无缝化效果更佳。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对现有技术和实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。