[发明专利]有机EL显示面板的制造方法及墨干燥装置

权利要求书

1.一种有机EL显示面板的制造方法，在所述有机EL显示面板中，多个像素呈行列状配置于基板上，

所述有机EL显示面板的制造方法包括以下工序：

准备所述基板；

在所述基板上呈行列状形成多个像素电极层；

在至少位于所述像素电极层的行方向外缘间的所述基板上方，以在列方向上延伸的方式在行方向上排列设置多个列堤；

在沿行方向相邻的各个所述列堤间的间隙，以遍及所述列堤的列方向端部间且在列方向连续的方式涂敷包含有机发光材料的墨；

在将以均匀的密度开设有多个贯通孔的整流板与所述多个列堤分开预定距离的状态下，使涂敷所述墨的所述基板与所述整流板相对而配置，以使所述多个贯通孔位于所述基板上的至少与所述多个列堤相对的范围内；

从包含所述基板和所述整流板的空气中排出气体；

通过加热所述基板，使所述墨干燥；以及

在去除了所述整流板的状态下，在所述有机功能层上方形成相对电极层。

2.根据权利要求1所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

在使所述墨干燥的工序中，将所述整流板与所述基板相对的状态下，所述贯通孔的开口长度相对于所述整流板与所述列堤的最小间隙的比率为0.5以上2以下。

3.根据权利要求2所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

在所述整流板上，所述整流板与所述多个列堤相对的范围中的开口率为10％以上60％以下。

4.根据权利要求2所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

在所述整流板上，所述整流板与所述多个列堤相对的范围中的开口率为20％以上40％以下。

5.根据权利要求1所述的有机EL显示面板的制造方法，其中，

所述整流板具有围绕与所述多个列堤相对的所述整流板面上的区域的周壁，在使所述墨干燥的工序中，当在俯视观察所述基板时，所述周壁围绕所述多个列堤。

6.一种墨干燥装置，用于墨的干燥，在基板上排列设置的多个列堤中，在沿行方向相邻的各个列堤间的间隙，以遍及所述列堤的列方向端部间且在列方向连续的方式涂敷所述墨，所述墨干燥装置包括：

室，设置涂敷有所述墨的基板；

支承台，在所述室内载置所述基板；

整流板，以均匀的密度开设多个孔；

保持单元，在将所述整流板与所述多个列堤分开预定距离的状态下，使所述整流板与所述支承台相对，以使所述多个贯通孔位于所述基板上的至少与所述多个列堤相对的范围内；

排出单元，排出所述室内的气体；以及

加热单元，加热所述基板，

在使所述整流板与所述支承台相对的状态下，所述贯通孔的开口长度相对于所述整流板与所述列堤的最小间隙的比率为0.5以上2以下。

7.根据权利要求6所述的墨干燥装置，其中，

在所述整流板上，所述整流板与所述多个列堤相对的范围中的开口率为20％以上60％以下。

8.根据权利要求6所述的墨干燥装置，其中，

在所述整流板上，所述整流板与所述多个列堤相对的范围中的开口率为20％以上40％以下。

9.根据权利要求6所述的墨干燥装置，其中，

所述整流板具有围绕与所述多个列堤相对的所述整流板面上的区域的周壁，在使所述整流板与载置所述基板的所述支承台相对的状态下，当俯视观察所述基板时，所述周壁围绕所述多个列堤。

10.根据权利要求6至9中任一项所述的墨干燥装置，其中，

所述墨干燥装置还包括：

覆盖机构，能够开闭开设于所述整流板的多个贯通孔的一部分或全部。