[发明专利]有机EL显示面板的制造方法及墨干燥装置

说明书

本发明提供有机EL显示面板的制造方法及墨干燥装置，通过实现发光层(123)的膜厚的均匀化来改善亮度不均匀。有机发光面板的制造方法，包括：在沿行方向相邻的各个列堤(522Y)间的间隙(522z)，以遍及列堤(22Y)的列方向端部间且在列方向连续的方式涂敷包含有机发光材料的墨的工序；在将以均匀的密度开设有多个贯通孔(400a)的整流板(400)与多个列堤分开预定距离的状态下，使涂敷墨的基板(100x)和整流板(400)相对而配置，以使多个贯通孔位于基板(100x)上的至少与多个列堤(22Y)相对的范围(10a)的工序；从包含基板(100x)以及整流板(400)的空气中排出气体的工序；以及在空气的压力为预定压力以下的状态下，通过加热基板(100x)来干燥墨的工序。

技术领域

本发明涉及使用利用有机材料的电场发光现象的有机EL(ElectroLuminescence：电致发光)元件的有机EL显示面板的制造方法及用于该制造方法的墨干燥装置。

背景技术

近年来，作为使用在数码电视等的显示装置的显示面板，将有机EL元件呈矩阵状在基板上排列多个的有机EL显示面板被应用。该有机EL显示面板由于各有机EL元件进行自发光而识别性高。

在这种有机EL显示面板中，通常各有机EL元件的发光层和相邻的有机EL元件通过由绝缘材料形成的绝缘层隔开。在彩色显示用的有机EL显示面板中，这种有机EL元件形成RGB各色的像素，并且相邻的RGB的像素结合而形成在彩色显示中的单位像素。各有机EL元件具有在阳极和阴极的一对电极之间配设有包含有机发光材料的发光层等的功能膜的元件构造，并当驱动时，向一对电极对间施加电压，伴随从阳极注入发光层的孔与从阴极注入发光层的电子的再结合而发光。

近年来，作为设备的大型化的发展、效率优良的功能膜的成膜方法，提出了基于喷墨法等涂敷包含功能性材料的墨的湿法工艺。湿法工艺具有在分别涂敷功能膜时的位置精度并不取决于基板尺寸，且向器件的大型化的技术障碍相对较低的优点。在代表性的喷墨法的湿法工艺中，在涂敷装置的工作台上载置涂敷对象基板。使墨头相对于基板表面在一方向上扫描，并从喷墨头的多个喷嘴向基板表面的预定区域滴下墨。其后，使墨的溶剂蒸发干燥成形功能膜。

但是，在这种通过在基板上填充墨并干燥的方法来形成功能层的湿法工艺中，在使墨的溶剂蒸发干燥的工艺中，在成膜区域的中央部分和边缘部分，由于边缘部分比中央部分的溶剂蒸汽压低，那次溶剂的蒸发速度快。其结果，具有以下趋势：形成在基板中央部分的像素的功能层与形成在基板端部的像素的功能层的膜厚彼此不同。如此，若在基板中央部分的像素和基板边缘部分的像素中功能层的膜厚不同，则各功能层的特性也彼此不同，因此成为作为有机EL显示面板面内亮度不均匀的原因。

对此，例如，在专利文献1中提出了如下功能膜形成方法：在基板上呈线状的堤(bank)的延伸方向中的仅两端具有开口的整流板上，使覆盖基板的墨干燥。在专利文献1中记载了通过所涉及的方法，通过使溶剂向线状堤的短轴方向的移动减少，从而减少干燥不均匀并能够控制功能膜的厚度。另外，在专利文献2中提出了使用具有贯通孔的整流板，将墨的溶剂向基板的上侧排出的干燥方法。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2010-267428号公报

专利文献2：日本特开2007-90200号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，随着面板的高精细化，存在如下技术问题：在专利文献1、2所记载的制造方法中，使基板面内的蒸汽压分布均匀化的效果微小，由于墨溶剂的蒸汽压分布而在基板面内的功能层的膜厚不均匀，成为亮度不均匀的原因。