[发明专利]用于双面抛光机的上盘摆动及定位装置

权利要求书

1.用于双面抛光机的上盘摆动及定位装置，其特征在于：包括摆动气缸、定位气缸、上盘安装座、旋转轴、摆动气缸支座、旋转座、限位块、连接杆、主轴和上盘组件；所述摆动气缸的一端与上盘安装座固定连接，另一端与摆动气缸支座固定连接，所述摆动气缸支座套于旋转座上，并固定连接；所述定位气缸的一端与上盘安装座固定连接，另一端与连接杆相连，所述连接杆另一端与限位块固定连接，所述旋转座上设有与限位块相匹配的凹槽；所述主轴与旋转轴分别穿入上盘安装座两端，所述主轴下端与上盘组件连接，所述旋转座与旋转轴固定连接。

2.根据权利要求1所述的用于双面抛光机的上盘摆动及定位装置，其特征在于：所述摆动气缸支座通过连接件与旋转座固定连接。

3.根据权利要求1或2所述的用于双面抛光机的上盘摆动及定位装置，其特征在于：所述主轴下端通过万向装置与上盘组件相连接。

4.根据权利要求1或2所述的用于双面抛光机的上盘摆动及定位装置，其特征在于：还设有端盖，所述端盖安装在旋转座与上盘安装座之间。

5.根据权利要求4所述的用于双面抛光机的上盘摆动及定位装置，其特征在于：所述端盖通过连接件与上盘安装座固定连接。

6.根据权利要求4所述的用于双面抛光机的上盘摆动及定位装置，其特征在于：所述主轴下端通过万向装置与上盘组件相连接。

7.根据权利要求5所述的用于双面抛光机的上盘摆动及定位装置，其特征在于：所述主轴下端通过万向装置与上盘组件相连接。