[发明专利]一种硅片激光与碱液结合制绒工艺

权利要求书

1.一种硅片激光与碱液结合制绒工艺，其特征在于：对激光制绒后的硅片进行碱性溶液制绒，将激光制绒后的硅片置于碱性溶液中进行湿法腐蚀制绒，所述碱性溶液的温度为常温；

在激光制绒之前还包括去除扩散后的硅片的表面形成层：包括以下步骤：

S10：将扩散后的硅片浸泡在玻璃腐蚀液中，浸泡时间为0.5-4h，去除扩散后的硅片表面的磷、硼硅玻璃，该玻璃腐蚀液为按一定比例混合的氢氟酸铵、草酸、硫酸铵、甘油、硫酸钡和热纯水，该混合比例为按重量比例为20-30％：10-20％：10-20％：0-10％：20-30％：10-20％的比例进行混合；

S11：对浸泡玻璃腐蚀液后的硅片进行超声清洗，去除硅片表面的玻璃腐蚀液，超声清洗的时间一般为5-30min；

S12：超声清洗后的硅片进行水清洗，所述水清洗为一次溢水清洗，所述一次溢水清洗的时间为5-30min；

S13：将S12步骤中的溢水清洗后的硅片进行硝酸清洗，硝酸清洗的时间为5-30min；

S14：将硝酸清洗后的硅片进行四次溢水清洗，四级溢水清洗的时间均为5-30min；

S15：将溢水清洗后的硅片应用甩干机进行甩干；

所述硅片激光制绒的具体步骤为：对去除表面形成层的硅片的双面依次进行激光扫描，在对硅片进行激光扫描时，硅片放置在常温常压下，放置在空气中，将清洗后的硅片放置于激光器的工作平台上，应用激光器对硅片表面进行扫描，该激光器进行扫描时，激光器的激光光束从左至右进行直线线性扫描，激光光束是在硅片的表面从上至下依次进行直线线性扫描，将整个硅片表面全部扫描一遍。

2.根据权利要求1所述的硅片激光与碱液结合制绒工艺，其特征在于：所述碱性溶液为按一定比例混合的氢氧化钾、添加剂和纯水。

3.根据权利要求2所述的硅片激光与碱液结合制绒工艺，其特征在于：所述氢氧化钾、添加剂和纯水的混合比例为0.1-1:0.01-1:1-10。

4.根据权利要求1所述的硅片激光与碱液结合制绒工艺，其特征在于：所述硅片碱性溶液制绒后还进行硅片的制绒后清洗。