[发明专利]集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法在审

专利信息
申请号: 201711085351.7 申请日: 2017-11-07
公开(公告)号: CN110019459A 公开(公告)日: 2019-07-16
发明(设计)人: 姬小兵;马秀丽;魏剑嵬;杨祖业;张丽丽;王晶 申请(专利权)人: 沈阳中科博微科技股份有限公司
主分类号: G06F16/25 分类号: G06F16/25;G06Q50/04;H04L29/08
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 许宗富
地址: 110179 辽宁省沈*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
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【权利要求书】:

1.集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法,其特征在于,包括:

配置数据库中的配置信息,与集成电路生产设备进行通讯,获取采集事件并解析成设备数据上传至服务器端;

在服务器端缓存获取的设备数据,在工艺完成时将设备数据转换压缩为装备描述文件,上传至云平台中进行保存;

当有客户端接入云平台时,从云平台获取装备描述文件并解压缩还原成设备数据,分发给客户端。

2.按照权利要求1所述的集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法,其特征在于,所述配置数据库中的配置信息,并与集成电路生产设备进行通讯,获取采集事件并解析成设备数据上传至服务器端,包括:

配置SQL Server数据库中的配置信息;

从SQL Server数据库加载配置信息,根据SEMI通信协议和配置信息向集成电路生产设备获取采集事件;

根据SEMI通信协议将接收到的采集事件解析成设备数据,并上传至服务器端。

3.按照权利要求2所述的集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法,其特征在于,所述配置信息包括采集数据ID和事件ID的映射表、实时数据采集周期表,所述周期表用于对采集数据事件的采样频率进行管控。

4.按照权利要求1所述的集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法,其特征在于,所述在工艺完成时将设备数据转换压缩为装备描述文件,包括;

将服务器端获取的设备数据按照模板转换成初始装备描述文件;所述模板以XML格式保存在服务器上,模板文件的内部结构包含若干节点,一个节点存放一条数据信息,包括关键字与对应的数值;

将初始装备描述文件按照如下操作转换成装备描述文件:

在初始装备描述文件中根据设备数据中的关键字查找其对应的数据值;

如果查找到的数据值的数据类型为整型或浮点型,则将服务器端获取的设备数据与查找到的数据值的数据初始值做相差操作;

如果查找到的数据值的数据类型为字符,则先将服务器端获取的设备数据转化为相应的十进制的ASCII码,然后与查找到的数据值的数据初始值做相差操作;

如果查找到的数据值的数据类型为其余类型,则不做处理;

将差值写入初始装备描述文件中生成装备描述文件。

5.按照权利要求1所述的集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法,其特征在于,所述当有客户端接入云平台时,从云平台获取装备描述文件并解压缩还原成设备数据,分发给客户端,包括:

通过设备ID检索到装备描述文件;

对装备描述文件进行解压缩还原为设备数据;

将还原的设备数据分发给客户端。

6.按照权利要求1、5所述的集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法,其特征在于,所述客户端为PC端。

7.按照权利要求1~5任意一项所述的集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法,其特征在于,所述设备数据包括与设备相关的关键字;所述装备描述文件中包括与设备相关的数据值,包括设备ID、数据ID、数据名称、数据类型、数据初始值、数据间嵌套关系信息。

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