[发明专利]集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法

说明书

本发明公开了集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法，包括数据采集、数据存储以及数据分发三部分。数据采集指通过SEMI国际标准的通信协议与集成电路装备制造厂的设备进行联网通讯，获取并解析设备数据。数据存储是将获取到的设备数据缓存在服务器端，转换为装备描述文件后上传至云平台。数据分发即接入云平台，获取装备描述文件解析后根据订阅方式进行数据分发。本发明基于云计算技术提供高效的实时数据服务，解决了在集成电路装备企业生产过程信息量大，尤其是极大规模的集成电路装备制造企业设备基数大、实时数据量庞大、传统的数据采集及存储方法存在实时数据采集难，实时性不高、数据存储与分发慢等问题，解决海量数据的采集与存储问题。

技术领域

本发明涉及集成电路生产线领域的数据采集和存储，具体说是一种集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法。

背景技术

在集成电路装备企业生产过程信息量大，尤其是极大规模的集成电路装备制造企业设备基数大，实时数据量庞大。在以往的实践中，典型的集成电路装备进行工艺操作时，装备控制器将实时数据传输至服务器内进行保存，当装备制造厂商访问数据时，需要多次访问数据库，存在实时数据采集即时性不高，存储和访问耗时很大等问题。严重影响集成电路装备制造企业实现自动化监控的需求。

发明内容

针对现有技术采集及时性不高，存储和访问耗时很大等问题等不足之处，本发明要解决的技术问题是提供一种集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：集成电路生产线用的基于云计算的数据实时处理方法，包括：

配置数据库中的配置信息，与集成电路生产设备进行通讯，获取采集事件并解析成设备数据上传至服务器端；

在服务器端缓存获取的设备数据，在工艺完成时将设备数据转换压缩为装备描述文件，上传至云平台中进行保存；

当有客户端接入云平台时，从云平台获取装备描述文件并解压缩还原成设备数据，分发给客户端。

所述配置数据库中的配置信息，并与集成电路生产设备进行通讯，获取采集事件并解析成设备数据上传至服务器端，包括：

配置SQL Server数据库中的配置信息；

从SQL Server数据库加载配置信息，根据SEMI通信协议和配置信息向集成电路生产设备获取采集事件；

根据SEMI通信协议将接收到的采集事件解析成设备数据，并上传至服务器端。

所述配置信息包括采集数据ID和事件ID的映射表、实时数据采集周期表，所述周期表用于对采集数据事件的采样频率进行管控。

所述在工艺完成时将设备数据转换压缩为装备描述文件，包括；

将服务器端获取的设备数据按照模板转换成初始装备描述文件；所述模板以XML格式保存在服务器上，模板文件的内部结构包含若干节点，一个节点存放一条数据信息，包括关键字与对应的数值。

将初始装备描述文件按照如下操作转换成装备描述文件：

在初始装备描述文件中根据设备数据中的关键字查找其对应的数据值；

如果查找到的数据值的数据类型为整型或浮点型，则将服务器端获取的设备数据与查找到的数据值的数据初始值做相差操作；

如果查找到的数据值的数据类型为字符，则先将服务器端获取的设备数据转化为相应的十进制的ASCII码，然后与查找到的数据值的数据初始值做相差操作；

如果查找到的数据值的数据类型为其余类型，则不做处理；

将差值写入初始装备描述文件中生成装备描述文件。