[发明专利]一种金属化薄膜制作方法

权利要求书

1.一种金属化薄膜制作方法，其特征在于：将绝缘基膜送入真空镀膜机中，在真空镀膜机中采用真空蒸镀方式在绝缘基膜的工作面形成金属镀层；其中，在真空蒸镀作业时，镀膜室的表压小于或等于-2×10^-5mbar。

2.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜制作方法，其特征在于：所述镀膜室的内部真空是通过真空泵抽气获得，所述真空泵由伺服电机驱动，所述伺服电机上电连接有矢量变频控制器，在伺服电机上还设有旋转编码器，旋转编码器的输出信号输入至矢量变频控制器；所述真空泵的排气管上设有真空传感器，真空传感器的输出信号也输入至矢量变频控制器。

3.根据权利要求2所述的一种金属化薄膜制作方法，其特征在于：所述伺服电机为永磁同步电机。

4.根据权利要求2所述的一种金属化薄膜制作方法，其特征在于：所述伺服电机以2000rpm的转速驱动真空泵，使得镀膜室内部的表压从0mbar降低到-2.5×10^-2mbar；所述伺服电机以2000~8000rpm的转速继续驱动真空泵，使得镀膜室内部的表压从-2.5×10^-2mbar降低到-2.5×10^-3mbar，该过程中所述伺服电机的转速每提升600~1000rpm，所述镀膜室的真空度下降-3.8×10^-3～-4×10^-3mbar；所述伺服电机以8000rpm的转速继续驱动真空泵，使得镀膜室内部的表压从-2.5×10^-3mbar降低到-2×10^-5mbar。

5.根据权利要求1所述的一种金属化薄膜制作方法，其特征在于：所述绝缘基膜为聚乙酯薄膜、聚丙烯薄膜、聚苯乙烯薄膜或聚碳酸酯薄膜中的一种，所述金属镀层为镀锌层或镀铝层。