[发明专利]一种金属化薄膜制作方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种金属化薄膜制作方法，属于电容器技术领域。

背景技术

通常的薄膜电容器其制法是将铝等金属箔当成电极和塑料薄膜重叠后卷绕在一起制成。但是另外薄膜电容器又有一种制造法，叫做金属化薄膜，其制法是在塑料薄膜上以真空蒸镀上一层很薄的金属以做为电极。如此可以省去电极箔的厚度，缩小电容器单位容量的体积，所以薄膜电容器较容易做成小型，容量大的电容器。例如常见的MKP电容，就是金属化聚丙烯膜电容器的代称，而MKT则是金属化聚乙酯电容的代称。

金属化薄膜电容即是在聚酯薄膜的表面蒸镀一层金属膜代替金属箔做为电极，因为金属化膜层的厚度远小于金属箔的厚度，因此卷绕后体积也比金属箔式电容体积小很多。金属化膜电容的最大优点是“自愈”特性。所谓自愈特性就是假如薄膜介质由于在某点存在缺陷以及在过电压作用下出现击穿短路，而击穿点的金属化层可在电弧作用下瞬间熔化蒸发而形成一个很小的无金属区，使电容的两个极片重新相互绝缘而仍能继续工作，因此极大提高了电容器工作的可靠性。

目前金属化薄膜在真空镀膜过程中，镀膜室需要其内部的表压小于或等于-2×10^-4mbar，而现有镀膜机用来抽真空的电机转速一般在3500rpm以内，效率低，且起始负载大，易造成电机扭矩不稳定，降低其使用寿命。

发明内容

本发明针对现有技术存在的不足，提供了一种金属化薄膜制作方法，具体技术方案如下：

一种金属化薄膜制作方法，将绝缘基膜送入真空镀膜机中，在真空镀膜机中采用真空蒸镀方式在绝缘基膜的工作面形成金属镀层；其中，在真空蒸镀作业时，镀膜室的表压小于或等于-2×10^-5mbar。

作为上述技术方案的改进，所述镀膜室的内部真空是通过真空泵抽气获得，所述真空泵由伺服电机驱动，所述伺服电机上电连接有矢量变频控制器，在伺服电机上还设有旋转编码器，旋转编码器的输出信号输入至矢量变频控制器；所述真空泵的排气管上设有真空传感器，真空传感器的输出信号也输入至矢量变频控制器。

作为上述技术方案的改进，所述伺服电机为永磁同步电机。

作为上述技术方案的改进，所述伺服电机以2000rpm的转速驱动真空泵，使得镀膜室内部的表压从0mbar降低到-2.5×10^-2mbar；所述伺服电机以2000~8000rpm的转速继续驱动真空泵，使得镀膜室内部的表压从-2.5×10^-2mbar降低到-2.5×10^-3mbar，该过程中所述伺服电机的转速每提升600~1000rpm，所述镀膜室的真空度下降-3.8×10^-3～-4×10^-3mbar；所述伺服电机以8000rpm的转速继续驱动真空泵，使得镀膜室内部的表压从-2.5×10^-3mbar降低到-2×10^-5mbar。

作为上述技术方案的改进，所述绝缘基膜为聚乙酯薄膜、聚丙烯薄膜、聚苯乙烯薄膜或聚碳酸酯薄膜中的一种，所述金属镀层为镀锌层或镀铝层。

本发明的有益效果：

本发明通过对真空泵进行矢量变频控制，使得镀膜室内部的表压在3分钟内降低到-2×10^-5mbar，真空泵运行稳定，运行效率高，镀膜室内部的气压稳定，有利于保证金属镀层与绝缘基膜之间的结合力。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

实施例1