[发明专利]供给装置和基板处理装置

权利要求书

1.一种供给装置，其对支承基板的载置台的一个以上的区域交替供给从第一介质温度调节器输出的第一热交换介质和具有与该第一热交换介质的温度不同的温度的从第二介质温度调节器输出的第二热交换介质，所述供给装置的特征在于，包括：

与用于输出所述第一热交换介质的所述第一介质温度调节器的供给端口连接的第一供给线路；

与用于输出所述第二热交换介质的所述第二介质温度调节器的供给端口连接的第二供给线路；

用于将来自所述第一供给线路的所述第一热交换介质分别中继到所述一个以上的区域的一个以上的第三供给线路；

用于将来自所述第二供给线路的所述第二热交换介质分别中继到所述一个以上的区域的一个以上的第四供给线路；

分别对所述一个以上的区域中的一个对应的区域交替供给所述第一热交换介质和所述第二热交换介质的一个以上的阀装置；和

与接收热交换介质的所述第一介质温度调节器的返回端口连接的第一返回线路；

与接收热交换介质的所述第二介质温度调节器的返回端口连接的第二返回线路；和

用于对从所述一个以上的区域返回的热交换介质进行中继的一个以上的第三返回线路，

所述一个以上的阀装置各自包括：

筒状的外壳，其提供第一入口、第二入口、第一出口和第二出口，该第一入口与所述第一供给线路连接，该第二入口与所述第二供给线路连接，该第一出口与用于向所述一个对应的区域中继所述第一热交换介质的所述一个以上的第三供给线路中的一个第三供给线路连接，该第二出口与用于向所述一个对应的区域中继所述第二热交换介质的所述一个以上的第四供给线路中的一个第四供给线路连接，

轴体，其插入所述外壳内，形成有相对于该轴体的中心轴线在周向上延伸的第一供给槽和第二供给槽，该轴体的绕所述中心轴线的旋转角度位置处于第一角度范围时，该第一供给槽连接所述第一入口和所述第一出口，该轴体的绕所述中心轴线的旋转角度位置处于第二角度范围时，该第二供给槽连接所述第二入口和所述第二出口；和

用于使所述轴体绕所述中心轴线旋转的驱动装置，

所述外壳还提供第三入口、第三出口和第四出口，

该第三入口与用于对从所述一个对应的区域返回的热交换介质进行中继的所述一个以上的第三返回线路中的一个第三返回线路连接，所述第三出口与所述第一返回线路连接，所述第四出口与所述第二返回线路连接，

在所述轴体还形成有在所述周向上延伸的第一返回槽和第二返回槽，该轴体的绕所述中心轴线的旋转角度位置处于所述第一角度范围时，该第一返回槽连接所述第三入口和所述第三出口，该轴体的绕所述中心轴线的旋转角度位置处于所述第二角度范围时，该第二返回槽连接所述第三入口和所述第四出口，

在所述轴体还形成有第三返回槽和第四返回槽，该轴体的绕所述中心轴线的旋转角度位置处于所述第二角度范围时，该第三返回槽连接所述第一入口和所述第三出口，该轴体的绕所述中心轴线的旋转角度位置处于所述第一角度范围时，该第四返回槽连接所述第二入口和所述第四出口。

2.如权利要求1所述的供给装置，其特征在于，还包括：

分别具有二个输入端口和与该二个输入端口连接的一个输出端口的一个以上的合流器；和

分别在所述一个以上的合流器中的一个对应的合流器的所述输出端口与所述一个对应的区域之间对热交换介质进行中继的一个以上的第五供给线路，

所述一个以上的合流器各自的所述二个输入端口与一个第三供给线路和一个第四供给线路分别连接，该一个第三供给线路是所述一个以上的第三供给线路中的对所述一个对应的区域中继所述第一热交换介质的供给线路，该一个第四供给线路是所述一个以上的第四供给线路中的对所述一个对应的区域中继所述第二热交换介质的供给线路，

所述一个以上的第三供给线路的流路长度和所述一个以上的第四供给线路的流路长度大于所述一个以上的第五供给线路各自的流路长度。

3.如权利要求1或2所述的供给装置，其特征在于：

在所述外壳与所述轴体之间形成有间隙，

所述一个以上的阀装置各自还具有将所述外壳内的空间密封的、设置在所述外壳与所述轴体之间的密封部件。

4.如权利要求1所述的供给装置，其特征在于：

在所述中心轴线延伸的方向上，在所述第一供给槽与所述第二供给槽之间形成有所述第一返回槽和所述第二返回槽。