[发明专利]一种匀胶机排风装置有效
申请号: | 201711094407.5 | 申请日: | 2017-11-09 |
公开(公告)号: | CN109765759B | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 张超;程虎;郭生华;曲征辉 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 汪海 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 匀胶机排风 装置 | ||
1.一种匀胶机排风装置,其特征在于:包括进风盒(1)、阀门盒(2)、连接筒(3)、气缸(4)、活塞(6)和排风法兰(5),其中所述进风盒(1)、阀门盒(2)、排风法兰(5)内部依次相通形成排风通道,连接筒(3)设置于所述阀门盒(2)任一侧,且所述活塞(6)通过所述气缸(4)驱动在所述阀门盒(2)和连接筒(3)内移动,在所述阀门盒(2)与所述进风盒(1)相连一端的开口内壁上设有溶剂槽(7);
当所述活塞(6)移动至所述连接筒(3)内时,所述排风通道正常排风,当所述活塞(6)移动至所述阀门盒(2)内时,所述排风通道阻断;
所述气缸(4)安装在连接筒(3)外侧;
所述进风盒(1)包括下筒体(13)、中间盒体(12)和两个进风口(11),所述下筒体(13)一端与所述阀门盒(2)固连,另一端与所述中间盒体(12)固连,两个进风口(11)设置于所述中间盒体(12)上;
所述中间盒体(12)与所述下筒体(13)相连的一端内径逐渐收窄。
2.根据权利要求1所述的匀胶机排风装置,其特征在于:所述排风法兰(5)内设有排风口。
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