[发明专利]一种匀胶机排风装置有效
申请号: | 201711094407.5 | 申请日: | 2017-11-09 |
公开(公告)号: | CN109765759B | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 张超;程虎;郭生华;曲征辉 | 申请(专利权)人: | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/16 | 分类号: | G03F7/16 |
代理公司: | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人: | 汪海 |
地址: | 110168 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 匀胶机排风 装置 | ||
本发明涉及匀胶机领域,具体地说是一种匀胶机排风装置,包括进风盒、阀门盒、连接筒、气缸、活塞和排风法兰,其中所述进风盒、阀门盒、排风法兰内部依次相通形成排风通道,连接筒设置于所述阀门盒任一侧,且所述活塞通过所述气缸驱动在所述阀门盒和连接筒内移动,在所述阀门盒与所述进风盒相连一端的开口内壁上设有溶剂槽。本发明通过控制气缸的往复运动带动活塞运动,从而实现自动控制排风开关的目的,另外在阀门盒上部设有溶剂槽,溶剂槽内的溶剂会蒸发保持装置内部的湿润,减少光刻胶在装置内壁凝结,保持稳定的排风量,同时也易于装置的内部维护。
技术领域
本发明涉及匀胶机领域,具体地说是一种匀胶机排风装置。
背景技术
现有技术中的光刻胶匀胶机均采用真空方式排风,但匀胶机排风装置为手动控制,无法实现自动控制排风开关的功能。此外,现有技术中的匀胶机排风装置内部空间狭小,光刻胶非常容易在装置内壁上凝结,内部维护也极不方便。
发明内容
本发明的目的在于提供一种匀胶机排风装置,通过控制气缸的往复运动带动活塞运动,从而实现自动控制排风开关的目的,另外在阀门盒上部设有溶剂槽,溶剂槽内的溶剂会蒸发保持装置内部的湿润,减少光刻胶在装置内壁凝结,保持稳定的排风量,同时也易于装置的内部维护。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
一种匀胶机排风装置,包括进风盒、阀门盒、连接筒、气缸、活塞和排风法兰,其中所述进风盒、阀门盒、排风法兰内部依次相通形成排风通道,连接筒设置于所述阀门盒任一侧,且所述活塞通过所述气缸驱动在所述阀门盒和连接筒内移动,在所述阀门盒与所述进风盒相连一端的开口内壁上设有溶剂槽。
当所述活塞移动至所述连接筒内时,所述排风通道正常排风,当所述活塞移动至所述阀门盒内时,所述排风通道阻断。
所述气缸安装在连接筒外侧。
所述进风盒包括下筒体、中间盒体和两个进风口,所述下筒体一端与所述阀门盒固连,另一端与所述中间盒体固连,两个进风口设置于所述中间盒体上。
所述中间盒体与所述下筒体相连的一端内径逐渐收窄。
所述排风法兰内设有排风口。
本发明的优点与积极效果为:
1、本发明通过控制气缸的往复运动带动活塞运动,从而实现自动控制排风开关的目的。
2、本发明在阀门盒上部设有溶剂槽,溶剂槽内的溶剂会蒸发保持装置内部的湿润,减少光刻胶在装置内壁凝结,保持稳定的排风量,同时也易于装置的内部维护。
附图说明
图1为本发明的立体图,
图2为图1中本发明的主视图,
图3为图1中本发明的剖视图,
图4为图3中的A处放大图。
其中,1为进风盒,11为进风口,12为中间盒体,13为下筒体,2为阀门盒,3为连接筒,4为气缸,5为排风法兰,6为活塞,7为溶剂槽。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。
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