[发明专利]等离子体发生模块及包含该模块的等离子体处理装置

权利要求书

1.一种等离子体发生模块，其特征在于，包含：

供给高频电力的高频电源；

以所述高频电力为基础向工序空间产生等离子体的天线；及

被配置在所述工序空间和所述天线之间的非磁性体，

所述天线和所述非磁性体的间隔根据区域而不同，其中，所述区域根据可以使在所述工序空间产生的所述等离子体的密度均匀而设定。

2.根据权利要求1所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述天线包含被配置在所述非磁性体的中央区域上部的第一天线及被配置在所述非磁性体的边缘区域上部的第二天线。

3.根据权利要求2所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述第一及第二天线被配置在同样的高度上，

所述非磁性体，其被配置在所述第一天线下侧的中央区域的厚度比被配置在所述第二天线下侧的边缘区域的厚度厚。

4.根据权利要求3所述的等离子体发生模块，其特征在于，

还包含区划所述非磁性体，以使所述非磁性体分离为配置在中央区域的第一窗及配置在边缘区域的第二窗的框体。

5.根据权利要求4所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述第一窗的厚度比所述第二窗的厚度厚。

6.根据权利要求4所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述第二窗具有从相邻于所述第一窗的一区域朝向另一区域的倾斜面。

7.根据权利要求4所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述框体使所述第一及第二窗相互绝缘。

8.根据权利要求4所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述框体包含气体供给部和气体喷出孔，其中，所述气体供给部形成有从外部被供给的工序气体扩散的空间，所述气体喷出孔使所述工序气体向所述工序空间喷出。

9.根据权利要求4所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述第一及第二窗面向所述工序空间的一面被配置为相互平行。

10.根据权利要求1所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述非磁性体由多个可相互脱离的部件构成。

11.根据权利要求10所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述非磁性体包含：

上部板；

与所述上部板的下部相隔而配置的下部板；

在所述上部板和所述下部板之间连接所述上部板和所述下部板的连接板。

12.根据权利要求11所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述非磁性体还包含被配置在所述板之间的接触部位的密封部件。

13.根据权利要求1所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述非磁性体在其内部形成中空。

14.根据权利要求13所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述非磁性体包含气体供给部和气体喷出孔，其中，所述气体供给部形成有从外部被供给的工序气体扩散的空间，所述气体喷出孔使所述工序气体向所述工序空间喷出。

15.根据权利要求2所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述非磁性体包含区划所述非磁性体，以使所述非磁性体分离为配置在中央区域的第一窗及配置在边缘区域的第二窗的框体。

16.根据权利要求15所述的等离子体发生模块，其特征在于，

所述第一及第二窗构成为具有同样的厚度，

所述第一天线和所述第一窗之间的距离比所述第二天线和所述第二窗之间的距离远。