[发明专利]正型光敏树脂组合物在审
| 申请号： | 201711098303.1 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN108073042A | 公开（公告）日： | 2018-05-25 |
| 发明（设计）人： | 金东明;尹赫敏;吕泰勋;金宣炯 | 申请（专利权）人： | 株式会社东进世美肯 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 金鲜英;宋海花 |
| 地址： | 韩国仁*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 正型光敏树脂组合物 耐热性 湿法蚀刻 薄膜晶体管液晶显示器 高分辨率显示器 有机薄膜晶体管 有机发光二极管 发色团结构 光致产酸剂 微机电系统 长烷基链 图案轮廓 电子纸 分散度 灵敏度 排斥力 亲油性 蚀刻液 酸结构 酸扩散 粘合力 分辨率 裕度 半导体 显示器 延迟 曝光 | ||
1.一种正型光敏树脂组合物，其包含：
a)由下述化学式1表示的共聚物；
b)光致产酸剂，其熔点是90℃至300℃，酸的烷基的碳原子数是6至20，对丙二醇单甲醚醋酸酯的溶解度是1％至15％；
d)有机碱；及
e)溶剂，
化学式1
在所述化学式1中，
所述R
x+y+z＝1，x为0.1-0.9，y为0.0-0.6，z为0.1-0.9。
2.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其特征在于，包含:
a)100重量份的由化学式1表示的共聚物；
b)3至15重量份的光致产酸剂；
d)0.01至5重量份的有机碱；及
e)溶剂，所述溶剂使固形物含量达到10至50重量％。
3.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其特征在于，
在上述a)项的化学式1的共聚物中，x为0.1-0.7，y为0.1-0.4，z为0.1-0.7。
4.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其特征在于，
上述a)项的化学式1的共聚物以聚苯乙烯换算的重均分子量(Mw)为3000至50000。
5.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其特征在于，
所述b)的光致产酸剂为(Z)-2-((Z)-2-(辛基磺酰氧基亚氨基)噻吩-3(2H)-亚基)-2-邻甲苯基乙腈、(Z)-2-邻甲苯基-2-(甲苯磺酰氧基亚氨基)噻吩-3(2H)-亚基)乙腈、(Z)-2-((Z)-2-(环己基甲基磺酰氧基亚氨基)噻吩-3(2H)-亚基)-2-邻甲苯基乙腈、或者(Z)-2-((E)-5-(辛基磺酰氧基亚氨基)噻吩-2(5H)-亚基)-2-苯基乙腈。
6.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其特征在于，
所述c)的有机碱为选自一级胺类，如乙胺、正丙胺、丙烯胺、乙醇胺、苄胺等；二级胺类，如二乙胺、正丙胺等；三级胺类，如三甲胺、甲基二乙胺、二甲基乙胺、三丁胺、三乙胺、三异丁胺、三异辛胺、三辛胺、二甲基十二胺等；四级胺类，如四丁基氢氧化铵、四甲基氢氧化铵、三甲基氢氧化硫、三苯基氢氧化硫等；醇胺类，如二乙醇胺、二甲基乙醇胺、甲基二乙醇胺、三乙醇胺等中的一种以上物质。
7.根据权利要求1所述的正型光敏树脂组合物，其特征在于，还包含：
三聚氰胺交联剂、硅烷偶联剂、表面活性剂、稳定剂或染料。
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