[发明专利]正型光敏树脂组合物

说明书

本发明涉及一种正型光敏树脂组合物。更具体地，本发明涉及一种具有优异的灵敏度、分辨率、图案轮廓、曝光后延迟裕度(PED margin)等，尤其是因为具有亲油性的巨大的发色团结构，对蚀刻液渗透的排斥力及耐热性优异，并且使用因含长烷基链的酸结构而容易控制酸扩散速度的光致产酸剂，从而湿法蚀刻粘合力及耐热性、分散度优异的正型光敏树脂组合物。因此，本发明的正型光敏树脂组合物能够用于显示器、半导体、微机电系统(MEMS)、电子纸(E‑paper)等伴有湿法蚀刻工艺的元件，尤其适用于薄膜晶体管液晶显示器(TFT‑LCD)、有机发光二极管(OLED)或有机薄膜晶体管(O‑TFT)等大面积高分辨率显示器。

技术领域

本发明涉及一种正型光敏树脂组合物。更具体地，本发明涉及一种灵敏度、分辨率、图案轮廓、曝光后延迟裕度(PED margin)等优异，特别是湿法蚀刻粘合力及耐热性、分散度优异的正型光敏树脂组合物。

背景技术

最近显示器市场的热门话题为薄膜电晶体液晶显示器超高清电视(TFT-LCD UHD(Ultra High Density)TV)和有机发光二极管电视(OLED TV)的批量生产。随着OLED电视开始批量生产，薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)为对抗有机发光二极管(OLED)卓越的画质，制定了高分辨率的战略。以往IT市场上的手机或平板电脑的竞争格局转移到了电视市场当中。

高分辨率的实现以线宽小于现有布线结构为条件。但是，显示器领域中使用的光刻胶已到达机制的极限，因此需要开发设计新颖的材料用来实现高分辨率。

为了主要用于生产电视的大型基板的批量生产，需要跨越分散度及对延迟(Delay)的工艺裕度应更加优于生产移动设备的小型基板的技术障碍。为了实现高分辨率，可以使用半导体中使用的材料和设备，但是当前的半导体设备和材料由于分散度及延迟(Delay)方面的弱势，不符合大型化生产。因此，需要一种分散度及对延迟(Delay)的工艺裕度优异的材料，以便能够实现超高清(UHD)级别的高分辨率，以及生产大面积显示器。

一般来讲，干法蚀刻工艺不同于湿法蚀刻工艺，垂直和水平的蚀刻选择比优异，在工艺裕度方面具有优势，但可适用于干法蚀刻工艺的基板大小受限，不适合生产大面积显示器，因此需要开发一种可采用湿法蚀刻工艺的材料。此外，湿法蚀刻工艺通常伴有烘烤工艺(Bake process)，以进一步确保材料的耐化学性，这时如果耐热性较差，回流(Reflow)会导致CD减小或发生堵塞，从而分辨率下降，因此需要开发一种耐热性优异的材料。

发明内容

技术问题

为了解决如上所述的现有技术中存在的问题，本发明的目的在于提供一种灵敏度、分辨率、图案轮廓、曝光后延迟裕度(PED margin)等优异，特别是湿法蚀刻粘合力及耐热性、分散度优异的正型光敏树脂组合物。

本发明的另一目的在于提供一种使用所述正型光敏树脂组合物的元件的图案形成方法、以及通过所述图案形成方法制得的元件。

技术方案

为达到上述目的，本发明提供一种正型光敏树脂组合物，其包含：

a)由下述化学式1表示的共聚物；

b)光致产酸剂，其熔点是90℃至300℃，酸(Acid)的烷基(Alkyl group)的碳原子数是6至20，对丙二醇单甲醚醋酸酯(Propylene glycol monomethyl ether acetate)的溶解度是1％至15％；

d)有机碱；及

e)溶剂，

[化学式1]