[发明专利]一种Cu-MoTi蚀刻液在审
| 申请号： | 201711104710.9 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN109778190A | 公开（公告）日： | 2019-05-21 |
| 发明（设计）人： | 武岳;李珊;姜春生;李佳育 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/18 | 分类号： | C23F1/18 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 群组 无机盐 氧化剂 蚀刻液 磷酸二氢铵 多元羧酸 过氧化氢 去离子水 自由磷酸 过硫酸 无机酸 氨基酸 二铵 酸选 自由 | ||
1.一种Cu-MoTi蚀刻液，包含：5～30wt％氧化剂、3～15wt％酸和3～15wt％无机盐，余量为去离子水；其中，所述氧化剂选自含过氧基团的化合物，所述无机盐选自磷酸铵盐。
2.如权利要求1所述的Cu-MoTi蚀刻液，其特征在于，所述含过氧基团的化合物为过氧化氢及其衍生物。
3.如权利要求1所述的Cu-MoTi蚀刻液，其特征在于，所述磷酸铵盐包括磷酸二氢铵、磷酸氢二铵和磷酸铵。
4.如权利要求1或2所述的Cu-MoTi蚀刻液，其特征在于，所述酸包括多元羧酸、氨基酸和无机酸。
5.如权利要求4所述的Cu-MoTi蚀刻液，其特征在于，所述酸为多元羧酸。
6.如权利要求5所述的Cu-MoTi蚀刻液，其特征在于，所述多元羧酸包括苹果酸和柠檬酸，所述氨基酸包括甘氨酸和丙氨酸，所述无机酸包括磷酸和硫酸。
7.如权利要求1所述的Cu-MoTi蚀刻液，其特征在于，所述Cu-MoTi蚀刻液还包含0.01～5wt％金属螯合剂，所述金属螯合剂包括氨基羧酸螯合剂、羟基羧酸螯合剂、酒石酸、聚磷酸盐螯合剂和聚羧酸螯合剂。
8.如权利要求6所述的Cu-MoTi蚀刻液，其特征在于，所述金属螯合剂包括乙二胺四乙酸、羟乙基乙二胺三乙酸、聚丙烯酸和聚甲基丙烯酸。
9.如权利要求1所述的Cu-MoTi蚀刻液，其特征在于，所述Cu-MoTi蚀刻液还包含0.01～5wt％稳定剂。
10.如权利要求9所述的Cu-MoTi蚀刻液，其特征在于，所述稳定剂为苯基脲。
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