[发明专利]气体传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 201711107304.8 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107941859A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 左国民;高适;张顺平;王学峰;李丹萍;张立功;王宁;周建梅;鲁胜利 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军陆军防化学院 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司11606 | 代理人： | 赵永辉 |
| 地址： | 102205 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 传感器 及其 制备 方法 | ||
1.一种气体传感器，其特征在于，包括：
基底(20)，所述基底(20)设置有多个间隔设置的镂空部(30)；以及
多个气敏元件(40)，每个所述气敏元件(40)悬空设置于一个所述镂空部(30)中。
2.如权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述气敏元件(40)包括：
基片(410)，所述基片(410)具有第一表面(412)和与所述第一表面(412)相对的第二表面(414)，所述基片(410)悬空设置于所述镂空部(30)；
加热电极层(420)，设置于所述第一表面(412)；
测试电极层(430)，设置于所述第二表面(414)；
气敏材料层(440)，设置于所述第二表面(414)，并覆盖所述测试电极层(430)。
3.如权利要求2所述的气体传感器，其特征在于，所述基片(410)与所述基底(20)一体成型。
4.如权利要求2所述的气体传感器，其特征在于，所述加热电极层(420)为图案化电极，所述测试电极层(430)也为图案化电极。
5.如权利要求2所述的气体传感器，其特征在于，所述气敏元件(40)还包括：
至少两个连接臂(450)，所述基片(410)通过所述至少两个连接臂(450)与所述镂空部(30)连接。
6.如权利要求1所述的气体传感器，其特征在于，所述镂空部(30)为开设于所述基底(20)的通孔。
7.如权利要求1-6中任一项所述的气体传感器，其特征在于，进一步包括两个电极连接部(50)，间隔固定设置于所述基片(20)的两端。
8.如权利要求7所述的气体传感器，其特征在于，所述电极连接部(50)包括：
排针固定座(502)，所述排针固定座(502)固定设置于所述基片(20)，且所述排针固定座(502)设置有多个排针孔(506)；以及
多个排针电极(504)，每个所述排针电极(504)通过一个所述排针孔(506)固定设置于所述排针固定座(502)，用以与所述气敏元件(40)电连接。
9.一种气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
提供一个基底(20)，所述基底(20)包括第一表面(412)和与所述第一表面(412)相对的第二表面(414)；
在所述第一表面(412)间隔形成多个加热电极层(420)；
在所述第二表面(414)间隔形成多个测试电极层(430)，每个所述测试电极层(430)与一个所述加热电极层(420)相对所述基底(20)对称设置；
在所述第二表面(414)间隔形成多个气敏材料层(440)，每个气敏材料层(440)覆盖一个所述加热电极层(420)；
切割处理所述基底(20)，使得所述基底(20)形成多个镂空部(30)，每个所述镂空部(30)设置有一个所述加热电极层(420)和一个测试电极层(430)。
10.如权利要求9所述的气体传感器的制备方法，其特征在于，还包括：
在所述基底(20)的两端固定设置两个排针固定座(502)，每个所述排针固定座(502)设置有多个排针孔(506)；
在每个所述排针孔(506)中固定设置一个排针电极(504)，并与所述气敏元件(40)电连接。
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