[发明专利]一种自动检知泵内漏水的侦测系统在审

专利信息
申请号: 201711115956.6 申请日: 2017-11-13
公开(公告)号: CN107905991A 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 顾颖豪;袁海岭 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: F04B51/00 分类号: F04B51/00;F04B49/02;F04B49/10
代理公司: 上海申新律师事务所31272 代理人: 俞涤炯
地址: 201203 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 自动 检知泵内 漏水 侦测 系统
【权利要求书】:

1.一种自动检知泵内漏水的侦测系统,适用于真空泵装置,其特征在于,包括:

漏水检知线,铺设于所述真空泵内的蓄水槽内,用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴流出;

真空泵控制器,连接所述漏水检知线,用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号,反馈至所述真空泵机台。

2.根据权利要求1所述的侦测系统,其特征在于,所述漏水检知线铺设于所述真空泵内的蓄水槽的四周。

3.根据权利要求2所述的侦测系统,其特征在于,所述真空泵内的蓄水槽的四周贴着边缘进行布线。

4.根据权利要求1所述的侦测系统,其特征在于,所述真空泵控制器设置第一端口。

5.根据权利要求4所述的侦测系统,其特征在于,所述第一端口为数字信号端口,所述漏水检知线电连接所述第一端口。

6.根据权利要求4所述的侦测系统,其特征在于,所述第一端口的功能设置为启动状态。

7.根据权利要求6所述的侦测系统,其特征在于,所述启动状态将所述第一端口从断开状态变为闭合状态,并输出预警信号。

8.一种真空泵装置,其特征在于,包括如权利要求1-7中任一所述的侦测系统。

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