[发明专利]一种自动检知泵内漏水的侦测系统

说明书

技术领域

本发明涉及半导体检测技术领域，尤其涉及一种自动检知泵内漏水的侦测系统。

背景技术

随着半导体工艺的不断进步，工艺精度的不断提高，对真空泵的要求不单单只是在性能上进行改进，对其整体的安全防护措施也逐步列为半导体厂的硬性需求范围。

在现有技术中，由于真空泵使用的橡胶水管在运行一定时间后存在老化或者腐蚀的现象，水滴就会流出，半导体厂内的漏水检知设施只能侦测设备外围地面的漏水情况，而无法得知设备内部是否有水，一般情况下，是设备的内部漏水到一定程度后溢出，才会触碰厂务漏水侦测系统，有一定的滞后性。当设备大面积漏水时，影响其他设备的正常工作，并且修复工作复杂，从而影响安全防护效率。

发明内容

针对现有技术中存在的上述问题，现提供旨在一种装置铺设结构简单，改造难度低的自动检知泵内漏水的侦测系统。

具体技术方案如下：

一种自动检知泵内漏水的侦测系统，其中包括，

漏水检知线，铺设于所述真空泵内的蓄水槽内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴流出；

真空泵控制器，连接所述漏水检知线，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至所述真空泵机台。

优选的，所述漏水检知线铺设于所述真空泵内的蓄水槽的四周。

优选的，所述真空泵内的蓄水槽的四周贴着边缘进行布线。

优选的，所述漏水检知线贴着所述真空泵内的蓄水槽的边缘进行布线。

优选的，所述真空泵控制器设置第一端口。

优选的，所述第一端口为数字信号端口，所述漏水检知线电连接所述第一端口。

优选的，所述第一端口的功能设置为启动状态。

优选的，所述启动状态将所述第一端口从断开状态变为闭合状态，并输出预警信号。

优选的，一种真空泵装置，包括上述任一所述的侦测系统。

本发明的技术方案有益效果在于：公开一种自动检知泵内漏水的侦测系统，可自动地检测真空泵体内部的漏水情况，并第一时间内发出反馈信息，并且铺设装置结构简单，改造难度低，成本低，提高漏水安全事故的对应速度，改善了漏水安全防护效率。

附图说明

参考所附附图，以更加充分的描述本发明的实施例。然而，所附附图仅用于说明和阐述，并不构成对本发明范围的限制。

图1为本发明一种自动检知泵内漏水的侦测系统的实施例的装置结构图；

图2为本发明的实施例中，关于自动检知泵内漏水的侦测系统的原理框图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本发明中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，但不作为本发明的限定。

本发明包括一种自动检知泵内漏水的侦测系统，其中包括，

漏水检知线1，铺设于真空泵内2的蓄水槽20内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴出；

真空泵控制器21，连接漏水检知线1，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至真空泵机台。

通过上述自动检知泵内漏水的侦测系统的技术方案，漏水检知线1铺设于真空泵内2的蓄水槽20内，用于检测真空泵内的橡胶冷却管是否会有水滴出，真空泵控制器21连接漏水检知线1，用于将接受收到的信号进行处理并且输出预警信号，反馈至真空泵机台。

本发明的一种较优的实施例中，漏水检知线1铺设于所述真空泵2内的蓄水槽20的四周。

本发明的一种较优的实施例中，真空泵2内的蓄水槽20的四周贴着边缘进行布线。

本发明的一种较优的实施例中，漏水检知线1贴着真空泵2内的蓄水槽20的边缘进行布线。

本发明的一种较优的实施例中，真空泵控制器21设置第一端口210。

本发明的一种较优的实施例中，第一端口210为数字信号端口，漏水检知线1电连接第一端口210。

本发明的一种较优的实施例中，第一端口210的功能设置为启动状态。

本发明的一种较优的实施例中，启动状态将所述第一端口从断开状态变为闭合状态，并输出预警信号。