[发明专利]硅片清洗花篮

权利要求书

1.硅片清洗花篮，其特征在于，包括一对支架（4）以及设置在所述一对支架（4）间的花篮齿杆，其中，

所述花篮齿杆分为固定齿杆（2）与活动齿杆（1）；

每个所述支架（4）上均设置有L型卡槽（3），所述活动齿杆（1）的端部设置有长方体型的卡销（5），所述卡销（5）能够卡设在所述L型卡槽（3）内，实现所述活动齿杆（1）与一对所述支架（4）的固定。

2.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮，其特征在于，所述卡销（5）截面为长方形，所述长方形的长不小于所述L型卡槽（3）的竖边的宽且不大于所述L型卡槽（3）的横边的长，所述长方形的宽不大于所述L型卡槽（3）竖边的宽。

3.根据权利要求1或2所述的硅片清洗花篮，其特征在于，所述L型卡槽（3）的竖边与横边的交接处为圆角，且插入所述L型卡槽（3）内的所述卡销（5）的一侧为圆弧面。

4.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮，其特征在于，所述卡销（5）与所述活动齿杆（1）的主体部分之间设置有挡板，用于防止所述活动齿杆（1）的水平移动。

5.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮，其特征在于，所述活动齿杆（1）的齿与所述卡销（5）的长方体型截面的长边垂直，使得当所述卡销（5）卡设在所述L型卡槽（3）内后，所述齿呈垂直向下状态。

6.根据权利要求1所述的硅片清洗花篮，其特征在于，所述固定齿杆（2）包括三组，分别为设置在所述支架（4）底部的第一固定齿杆组、设置在所述支架（4）上部的第二固定齿杆组和设置在所述支架（4）中间段的第三固定齿杆组，所述固定齿杆（2）之间形成的方形空间用于放置待清洗硅片。

7.根据权利要求5所述的硅片清洗花篮，其特征在于，所述第一固定齿杆组的齿向上设置，所述第二固定齿杆组与所述第三固定齿杆组的齿水平向内设置。