[发明专利]硅片清洗花篮

说明书

技术领域

本发明涉及硅片制造技术领域，具体涉及一种硅片清洗花篮。

背景技术

半导体器件生产中硅片须经严格清洗，因为微量污染会导致器件失效，清洗的目的在于清除表面污染杂质，包括有机物和无机物。清除污染的方法有物理清洗和化学清洗两种。

在对硅片进行清洗时，使用硅片清洗花篮，不仅由于化学药剂具有腐蚀性，而且清洗花篮的插槽有利于将硅片均匀分开，不发生粘连，影响清洗的效果。

另外由于在清洗过程中，为了防止硅片上部发生形变而粘连在一起，现有硅片清洗花篮中在花篮的顶部设置有上部齿杆，而针对上部齿杆的固定，一般是将上部齿杆插入两个侧板的插槽内且两者之间采用过盈连接，从而实现上部齿杆与侧板的固定，但是此连接对操作人员的要求较高，工作强度较大。

有鉴于上述现有的硅片清洗花篮存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种硅片清洗花篮，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的硅片清洗花篮上部齿杆的固定存在的缺陷，而提供一种硅片清洗花篮，增加上部活动齿杆从而避免出现硅片上部出现粘连影响硅片清洗的效果，另外减小上部活动齿杆与支架之间固定付出的力，减小劳动强度，提高工作效率，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。

硅片清洗花篮，包括一对支架以及设置在所述一对支架间的花篮齿杆，其中，

所述花篮齿杆分为固定齿杆与活动齿杆；

每个所述支架上均设置有L型卡槽，所述活动齿杆的端部设置有长方体型的卡销，所述卡销能够卡设在所述L型卡槽内，实现所述活动齿杆与一对所述支架的固定，转动插入所述L型卡槽内的所述卡销，使所述卡销卡设在所述L型卡槽内。

作为一种优选的技术方案，所述卡销截面（垂直于活动齿杆长度方向的截面）为长方形，所述长方形的长不小于所述L型卡槽的竖边的宽且不大于所述L型卡槽的横边的长，所述长方形的宽不大于所述L型卡槽竖边的宽。

作为一种优选的技术方案，所述L型卡槽的竖边与横边的交接处为圆角，且插入所述L型卡槽内的所述卡销的一侧为圆弧面。

作为一种优选的技术方案，所述卡销与所述活动齿杆的主体部分之间设置有挡板，用于防止所述活动齿杆的水平移动。

作为一种优选的技术方案，所述活动齿杆的齿与所述卡销的长方体型截面的长边垂直，使得当所述卡销卡设在所述L型卡槽内后，所述齿呈垂直向下状态。

作为一种优选的技术方案，所述固定齿杆包括三组，分别为设置在所述支架底部的第一固定齿杆组、设置在所述支架上部的第二固定齿杆组和设置在所述支架中间段的第三固定齿杆组，所述固定齿杆之间形成的方形空间用于放置待清洗硅片。

作为一种优选的技术方案，所述第一固定齿杆组的齿向上设置，所述第二固定齿杆组与所述第三固定齿杆组的齿水平向内设置。

采用上述技术方案，能够实现以下技术效果：

1）、通过固定齿杆形成的片槽，将硅片均匀的分布在花篮内，且上部设置的活动齿杆进一步分隔硅片，避免硅片上部发生粘连从而影响清洗的效果；

2）、活动齿杆与支架的L型卡槽之间的连接方便，且转动活动齿杆所需付出的力较小、活动齿杆与支架连接牢靠。

附图说明

图1为本发明硅片清洗花篮的主视图；

图2为本发明硅片清洗花篮的俯视图；

图3为本发明支架的结构示意图；

图4为本发明固定齿杆的结构示意图；

其中：1-活动齿杆，2-固定齿杆，3-L型卡槽，4-支架，5-卡销。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效, 对依据本发明提出的硅片清洗花篮其具体实施方式、特征及其功效，详细说明如后。

本发明公开了一种硅片清洗花篮，包括一对支架4以及设置在一对支架4间的花篮齿杆，其中，

花篮齿杆分为固定齿杆2与活动齿杆1；

每个支架4上均设置有L型卡槽3，L型卡槽3包括横边和竖边，活动齿杆1的端部设置有长方体型的卡销5，卡销5能够卡设在L型卡槽3内，实现活动齿杆1与一对支架4的固定，具体的，转动插入L型卡槽3内的卡销5，使卡销5卡设在L型卡槽3的横边内，使得卡销5无法在竖直方向上或者水平方向上发生移动。