[发明专利]一种气体分流合流装置

权利要求书

1.一种气体分流合流装置，其特征在于：包括合流阀、分流阀及清洗阀，所述的合流阀上设有多个进气口与一个出气口，所述的一个进气口连接一清洗阀，其余进气口分别对应连接一分流阀；所述合流阀、分流阀及清洗阀内均设有多条彼此独立的进气、出气管道；所述的合流阀上设有三个进气口与一个出气口，同时对应设有两个分流阀与一个清洗阀；所述的合流阀上设有进气口A、进气口B、进气口C与一个出气口A，合流阀内部设有两个相同的隔膜阀，所述的第一隔膜阀包括一槽A、进气管A、进气管B及一出气管A，所述的进气管A与进气管B一端均连通固定在槽A底部，进气管A另一端与一进气口A连接，进气管B的另一端与进气口B连接，出气管A一端连通固定在槽A底部，另一端与出气口A连接；同样另外第二隔膜阀与第一隔膜阀结构相同，同样包括一槽D,槽D的底部连通设有进气管C、进气管D及出气管B,进气管C与进气口C连通，进气管D与进气口B连通，出气管B与出气口A连通；

所述的分流阀设置为2个，分别包括一个进气口D、出气口B、出气口C及一组隔膜阀，所述的分流阀的第一隔膜阀内设有槽B、进气管E与出气管C，所述的进气管E一端与槽B内连通，另一端与进气口D连通，出气管C一端与槽内连通固定，另一端与出气口B连通；所述的第二隔膜阀内同样设有槽C、进气管F与出气管D，所述的第二隔膜阀内的进气管F一端与槽C内连通另一端与进气口D连通，出气管D一端与槽C连通固定，另一端与出气口C连通；

所述的清洗阀，上设有一出气管E，出气管E与合流阀的进气口B连通固定；所述的分流阀的出气口C与合流阀的进气口A连通；所述的合流阀的进气口C连通固定一分流阀。

2.如权利要求1所述的一种气体分流合流装置，其特征在于：所述的合流阀上的两个隔膜阀相对设置，每个隔膜阀与中间对称轴呈45度角。

3.如权利要求1所述的一种气体分流合流装置，其特征在于：在将清洗阀的出气管E与合流阀的进气口B进行固定的时候，将清洗阀的出气管E通过法兰形式连接固定在合流阀的进气口B处，合流阀体底部进气口开燕尾槽，使用o-ring密封，通过螺栓连接将进气法兰与合流阀连接。

4.如权利要求1所述的一种气体分流合流装置，其特征在于：将进气管B、进气管D与出气管E三者连通一体化设计。

5.如权利要求1所述的一种气体分流合流装置，其特征在于：使用时所述的气体分流合流装置设置为多组，组与组之间上下设置，中间夹设有加热基板，所述的加热基板分为三层，中间为加热板，上下两层为固定板。

6.如权利要求1所述的一种气体分流合流装置，其特征在于：所述的出气管A与出气管B在出气口A处合并成一条管道通道。

7.如权利要求1所述的一种气体分流合流装置，其特征在于：将分流阀与合流阀采用焊接进行固定。