[发明专利]激光装置有效
申请号: | 201711122917.9 | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN108075348B | 公开(公告)日: | 2019-06-14 |
发明(设计)人: | 千叶哲也 | 申请(专利权)人: | 发那科株式会社 |
主分类号: | H01S3/102 | 分类号: | H01S3/102;H01S3/23 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光检测器 反射光 激光装置 光纤 光量 激光二极管 驱动电流 电源部 检测 传播 控制电源部 反射光量 光学部件 输出 返回 包层 反射 芯部 激光 损伤 | ||
提供一种激光装置,该激光装置能够通过更准确地检测在光纤内传播的反射光的光量来在由反射光量的增大引起的光学部件的损伤发生之前对激光输出进行调整。具备:至少一个以上的第一光检测器,所述至少一个以上的第一光检测器检测被工件反射且返回到激光装置的光纤的反射光中的主要经过光纤的包层传播来的反射光的光量;至少一个以上的第二光检测器,所述至少一个以上的第二光检测器检测返回到光纤的反射光中的主要经过所述光纤的芯部传播来的反射光的光量;电源部,其向激光二极管提供驱动电流;以及控制部,其控制电源部,其中,控制部根据来自第一光检测器和第二光检测器这两方的光检测器的输出来控制从电源部向激光二极管提供的驱动电流。
技术领域
本发明涉及一种利用光纤传输并输出激光并检测反射光的激光装置。
背景技术
作为板金切割或焊接用激光加工机使用的光纤激光装置(fiber laser device)具备光纤传播部,来使激光在光纤内传播。在该光纤激光装置中,有时从工件反射的反射光返回到激光装置一方,对光纤、激光二极管(LD)等光学部件带来因不期望的加热等导致的损伤,在最坏的情况下甚至有可能导致光学部件的破损。因此,需要准确地检测反射光的光量来向激光输出的控制进行反馈。
关于这点,专利文献1公开了如下一种技术:在光纤激光器中,对光结合器设置监视口,该监视口被传播从光纤去向激励光源侧的返回光的一部分,在返回光的强度超过规定值的情况下使激励光源的输出减少。
另外,专利文献2公开了如下一种技术:检测从光纤侧面漏出的光的强度,使用该光的强度与阈值的比较结果来控制激光加工装置的动作。
专利文献1:日本专利第4699131号公报
专利文献2:日本专利第5789527号公报
发明内容
光纤主要具有二层构造,该二层构造包括作为光纤的芯的芯部和在芯部的外侧包围芯部的包层。或者,包层由第一包层和覆盖该第一包层的外周的第二包层这二层构成,作为光纤整体具有芯部、第一包层、第二包层这三层构造。在此,在如上述那样从工件反射的反射光中,存在经过芯部传播的反射光和经过包层传播的反射光,而有时即使主要经过芯部传播来的反射光的光量少,也会由于主要经过包层传播来的反射光而使光纤、光纤的保护覆膜等烧坏。相反地,有时即使主要经过包层传播来的反射光的光量少,也会由于主要经过芯部传播来的反射光而使激光二极管(LD)等光学部件受到损伤。
关于这点,上述的专利文献1所涉及的发明只检测经过芯部传播的反射光,专利文献2所涉及的发明只检测经过包层传播的反射光。即,在专利文献1和专利文献2所涉及的发明中,无法准确地检测出从工件反射的反射光的光量。
因此,本发明的目的在于,提供如下一种激光装置:通过更准确地检测在光纤内传播的反射光的光量,来在发生由反射光量的增大引起的光学部件的损伤之前对激光输出进行调整。
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