[发明专利]一种银单质掺杂的CZTSSe薄膜的制备方法和应用有效
申请号: | 201711143332.5 | 申请日: | 2017-11-17 |
公开(公告)号: | CN107910390B | 公开(公告)日: | 2019-07-09 |
发明(设计)人: | 程树英;余雪;严琼;武四新;田庆文;贾宏杰 | 申请(专利权)人: | 福州大学 |
主分类号: | H01L31/032 | 分类号: | H01L31/032;H01L31/072 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 蔡学俊 |
地址: | 350108 福建省福州市*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单质 掺杂 cztsse 薄膜 制备 方法 应用 | ||
1.一种银单质掺杂的CZTSSe薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)配置不同Ag含量的CZTSSe前驱体溶液,Cu+Ag的总浓度保持在0.2mol/L,将单质铜、锌、锡、硫、硒、银按照一定的比例加入有机溶剂中,加热搅拌至完全溶解后,加入稳定剂继续搅拌至完全溶解形成稳定的CAZTSSe前驱体溶液;
2)将柔性衬底依次进行清洗、烘干;
3)将前驱体溶液反复旋涂到柔性衬底上,经退火处理后在柔性衬底上制备CAZTSSe预制层,退火温度为200~500℃;
4)将经步骤3)处理后的样品置于RTP硒化炉中进行后硒化处理,硒化温度范围为400~600℃,保持硒化温度处理8~30min,升温速率为6℃/s~10℃/s,在整个硒化处理过程中持续通保护气体,制得CAZTSSe薄膜;
所述CAZTSSe薄膜中Ag/(Cu+Ag)的摩尔百分比为3%、4%、5%或6%;
步骤1)中的有机溶剂是指乙二胺和乙二硫醇的混合液;
步骤1)中的稳定剂是指乙醇胺、巯基乙酸和乙二醇甲醚的混合液。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤2)中对柔性衬底进行清洗烘干具体指将钼衬底依次在浓硫酸和甲醇混合溶液中利用电化学技术进行清洗,在无水乙醇中超声清洗,在去离子水中超声清洗,之后将钼衬底在干燥箱中烘干;或将溅射Mo的柔性聚酰亚胺薄膜依次在在无水乙醇中超声清洗,在去离子水中超声清洗,之后将衬底在干燥箱中烘干。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,CAZTSSe薄膜的厚度为1.5~3微米。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的